সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া, বিশেষ করে ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ, ভ্যাকুয়াম পরিবেশে সঞ্চালিত হয় এবং যান্ত্রিকভাবে ক্ল্যাম্পিং ওয়েফার বহন করে 

নির্দিষ্ট ঝুঁকি। যখন বলটি ক্ল্যাম্পিং পয়েন্টে কেন্দ্রীভূত হয়, তখন ভঙ্গুর সিলিকন ওয়েফারগুলি ক্ষুদ্র টুকরো টুকরো করে ফেলতে পারে, যার ফলে ওয়েফার উৎপাদনের মারাত্মক ক্ষতি হয়।

এই ক্ষেত্রে, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক একটি ভাল পছন্দ হয়ে ওঠে, যা ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বল দ্বারা ওয়েফারকে ঠিক করে। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বল ওয়েফারের উপর সমানভাবে কাজ করে, তাই ওয়েফারটি সমতলভাবে স্থির করা যেতে পারে, প্রক্রিয়াটির নির্ভুলতা উন্নত করে।

প্রাসঙ্গিক গবেষণাপত্র অনুসারে, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের অন্যান্য ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের তুলনায় শক্তিশালী স্তন্যপান রয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের পিইটি ফিল্ম ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের চেয়ে অনেক শক্তিশালী সাকশন রয়েছে।

সিরামিক চক সাধারণত উচ্চ-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন সিরামিক উপকরণ যেমন Al2O3, AlN বা SiC দিয়ে তৈরি হয়, যার উচ্চ তাপ প্রতিরোধের, নিরোধক এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে। ছিদ্রযুক্ত SiC সিরামিক চক শুধুমাত্র চরম তাপমাত্রায় স্থিতিশীল নয়, তবে উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন রাসায়নিক বিকারক এবং প্লাজমা এচিংয়ের কারণে সিরামিক ই-চককে অবক্ষয় থেকে কার্যকরভাবে প্রতিরোধ করে।

তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ: উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং সিরামিক পদার্থের স্থিতিশীল তাপীয় বৈশিষ্ট্য অ্যালুমিনা সিরামিক ভ্যাকুয়াম চককে কার্যকরভাবে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে সক্ষম করে, যার ফলে প্রক্রিয়া চলাকালীন তাপমাত্রা বন্টন অপ্টিমাইজ করে।

ভ্যাকুয়াম অভিযোজনযোগ্যতা: সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ভ্যাকুয়াম পরিবেশের জন্য উপযুক্ত, বিশেষত কম-চাপ এবং উচ্চ-নির্ভুলতা এচিং প্রক্রিয়াগুলিতে।

কম কণা প্রজন্ম: ছিদ্রযুক্ত SiC সিরামিক ই-চাকের একটি মসৃণ পৃষ্ঠ রয়েছে, যা ওয়েফার ফিক্সিংয়ের সময় কণা দূষণ কমাতে পারে এবং পণ্যের ফলন উন্নত করতে সহায়তা করে।

অ্যাপ্লিকেশন: প্রধানত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে ব্যবহৃত, বিচ্ছিন্নযোগ্য সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক সুনির্দিষ্ট অবস্থান এবং স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা লিথোগ্রাফি, এচিং এবং অন্যান্য সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির জন্য খুব সহায়ক। প্রক্রিয়াকরণের সময় ওয়েফার অক্ষত আছে তা নিশ্চিত করুন এবং চিপ উৎপাদনের গুণমান উন্নত করুন।

VeTek সেমিকন্ডাক্টরসিরামিক ই-চক উৎপাদনের দোকান: