CVD SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার ব্যারেল হোল্ডার

মেটাল অর্গানিক রাসায়নিক বাষ্প জমা (MOCVD) হল বর্তমানে সবচেয়ে উষ্ণতম এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ টেকনোলজি, যা সেমিকন্ডাক্টর লেজার এবং এলইডি, বিশেষ করে GaN এপিটাক্সি তৈরিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এপিট্যাক্সি একটি ক্রিস্টাল সাবস্ট্রেটে আরেকটি একক স্ফটিক ফিল্মের বৃদ্ধিকে বোঝায়। Epitaxy প্রযুক্তি নিশ্চিত করতে পারে যে নতুন বেড়ে ওঠা স্ফটিক ফিল্ম কাঠামোগতভাবে অন্তর্নিহিত ক্রিস্টাল সাবস্ট্রেটের সাথে সারিবদ্ধ। এই প্রযুক্তিটি সাবস্ট্রেটে নির্দিষ্ট বৈশিষ্ট্য সহ ফিল্মগুলির বৃদ্ধির অনুমতি দেয়, যা উচ্চ-কার্যকারিতা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির জন্য অপরিহার্য।

ওয়েফার ব্যারেল ধারক এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ ফার্নেসের একটি মূল উপাদান। CVD SiC আবরণ ওয়েফার ধারক বিভিন্ন CVD এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ ফার্নেস, বিশেষ করে MOCVD এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ ফার্নেসগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

ফাংশন এবং feCVD SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার ব্যারেল হোল্ডারের বৈশিষ্ট্য

● সাবস্ট্রেট বহন এবং গরম করা: CVD SiC প্রলিপ্ত ব্যারেল সাসেপ্টর সাবস্ট্রেট বহন করতে এবং MOCVD প্রক্রিয়া চলাকালীন প্রয়োজনীয় গরম করার জন্য ব্যবহার করা হয়। CVD SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার ব্যারেল ধারক উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট এবং SiC আবরণ দ্বারা গঠিত, এবং চমৎকার কর্মক্ষমতা আছে।

● অভিন্নতা: MOCVD প্রক্রিয়া চলাকালীন, গ্রাফাইট ব্যারেল ধারক এপিটাক্সিয়াল স্তরের অভিন্ন বৃদ্ধি অর্জনের জন্য ক্রমাগত ঘোরে।

● তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় অভিন্নতা: SiC প্রলিপ্ত ব্যারেল সাসেপ্টরের SiC আবরণে চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় অভিন্নতা রয়েছে, যার ফলে এপিটাক্সিয়াল স্তরের গুণমান নিশ্চিত হয়।

● দূষণ এড়িয়ে চলুন: CVD SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার ব্যারেল ধারকের চমত্কার স্থিতিশীলতা রয়েছে, যাতে এটি অপারেশনের সময় দূষিত পদার্থগুলি তৈরি করবে না।

● অতি-দীর্ঘ সেবা জীবন: SiC আবরণের কারণে, CVD SiC প্রলিপ্ত Barrel সাসেপ্টরের এখনও উচ্চ তাপমাত্রা এবং MOCVD এর ক্ষয়কারী গ্যাস পরিবেশে যথেষ্ট স্থায়িত্ব রয়েছে।

ব্যারেল সিভিডি চুল্লির পরিকল্পিত

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের CVD SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার ব্যারেল হোল্ডারের সবচেয়ে বড় বৈশিষ্ট্য

● কাস্টমাইজেশন সর্বোচ্চ ডিগ্রী: গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের উপাদান গঠন, উপাদান গঠন এবং SiC আবরণের বেধ, এবং ওয়েফার ধারকের গঠন গ্রাহকের চাহিদা অনুযায়ী কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।

● অন্যান্য সরবরাহকারীদের থেকে এগিয়ে থাকা: EPI-এর জন্য VeTek সেমিকন্ডাক্টরের SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ব্যারেল সাসেপ্টরও গ্রাহকের চাহিদা অনুযায়ী কাস্টমাইজ করা যেতে পারে। অভ্যন্তরীণ দেয়ালে, আমরা গ্রাহকের প্রয়োজনে সাড়া দিতে জটিল নিদর্শন তৈরি করতে পারি।

প্রতিষ্ঠার পর থেকে, VeTek সেমিকন্ডাক্টর SiC আবরণ প্রযুক্তির ক্রমাগত অনুসন্ধানে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ। আজ, VeTek সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের নেতৃস্থানীয় SiC আবরণ পণ্য শক্তি আছে. VeTek সেমিকন্ডাক্টর CVD SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার ব্যারেল হোল্ডার পণ্যে আপনার অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

CVD SIC কোটিং ফিল্ম ক্রিস্টাল স্ট্রাকচারের SEM ডেটা

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য