VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের একটি নেতৃস্থানীয় অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম প্রস্তুতকারক এবং একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক এবং সলিড SiC ডিস্ক-আকৃতির শাওয়ার হেড সরবরাহকারী। আমাদের ডিস্ক আকৃতির শাওয়ার হেড পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন প্রোডাকশনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় যেমন CVD প্রক্রিয়ায় বিক্রিয়া গ্যাসের অভিন্ন বন্টন নিশ্চিত করতে এবং এটি CVD ফার্নেসের অন্যতম প্রধান উপাদান।
CVD প্রক্রিয়ায় সলিড SiC ডিস্ক-আকৃতির শাওয়ার হেডের ভূমিকা হল রিঅ্যাকশন গ্যাসকে ডিপোজিশন এলাকার উপরে সমানভাবে বন্টন করা যাতে গ্যাসটি সমতল এবং অভিন্ন ফিল্ম পাওয়ার জন্য চুল্লি জুড়ে সমানভাবে ছড়িয়ে যেতে পারে।
সলিড SiC শাওয়ার হেড CVD ফার্নেসের শীর্ষে বা গ্যাসের খাঁড়ির কাছে সেট করা আছে। প্রতিক্রিয়া গ্যাস শাওয়ার হেডের উপর বিতরণ করা গর্তের মাধ্যমে ডিস্ক-আকৃতির কাঠামোতে প্রবেশ করে এবং ঝরনা মাথার পৃষ্ঠের চারপাশে ছড়িয়ে পড়ে। একাধিক চ্যানেল ডিজাইন এবং সমানভাবে বিতরণ করা আউটলেটগুলির মাধ্যমে, প্রতিক্রিয়া গ্যাস সমগ্র চুল্লি এলাকায় সমানভাবে প্রবাহিত হতে পারে, ঘনত্ব বা অশান্তি এড়াতে পারে এবং স্তরের পুরুত্বের সামঞ্জস্য নিশ্চিত করতে পারে।
একই সময়ে, সেমিকন্ডাক্টর ডিস্ক আকৃতির শাওয়ার হেডের কাঠামোতেও একটি প্রসারণ প্রভাব রয়েছে, যা কার্যকরভাবে গ্যাসের প্রবাহের হার কমাতে পারে, যাতে এটি অগ্রভাগের আউটলেটে সমানভাবে ছড়িয়ে যেতে পারে এবং স্থানীয় গ্যাসের প্রভাব কমাতে পারে। জমা প্রভাব উপর প্রবাহ পরিবর্তন. এটি সাবস্ট্রেটের উপর সরাসরি গ্যাসের প্রভাব এড়াতে এবং অসম জমার সমস্যা রোধ করতে সহায়তা করে।
উপাদানের দৃষ্টিকোণ থেকে, সলিড SiC গ্যাস শাওয়ার হেডটি উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধী, জারা-প্রতিরোধী এবং উচ্চ-শক্তির সলিড SiC উপাদান দিয়ে তৈরি করা হয়েছে এবং খুব উচ্চ স্থিতিশীলতা রয়েছে। এটি সিভিডি চুল্লিতে দীর্ঘ সময়ের জন্য স্থিরভাবে কাজ করতে পারে এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন রয়েছে।
VeTek সেমিকন্ডাক্টর উচ্চ মানের কাস্টমাইজড পরিষেবা প্রদান করে। সলিড SiC ডিস্ক-আকৃতির ঝরনা হেডের আকৃতি এবং গর্ত বিন্যাস নমনীয়ভাবে গ্রাহকের প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা অনুসারে বিভিন্ন গ্যাসের ধরন, প্রবাহের হার এবং জমার উপকরণগুলির সাথে খাপ খাইয়ে নিতে পারে। বিভিন্ন আকারের চুল্লি বা স্তরের আকারের জন্য, বিভিন্ন ব্যাস এবং গর্ত বিতরণ সহ ডিস্ক-আকৃতির ঝরনা হেডগুলিকে গ্যাস বিতরণ প্রভাবকে অপ্টিমাইজ করার জন্য কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।
VeTek সেমিকন্ডাক্টরের সলিড SiC সেমিকন্ডাক্টর শাওয়ার হেড পণ্যগুলির জন্য পরিপক্ক প্রক্রিয়া এবং উন্নত প্রযুক্তি রয়েছে, যা বিপুল সংখ্যক গ্রাহককে CVD প্রক্রিয়াগুলিতে ক্রমাগত অগ্রগতি অর্জনে সহায়তা করে। VeTek সেমিকন্ডাক্টর চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
সলিড SiC এর ভৌত বৈশিষ্ট্য |
|||
ঘনত্ব |
3.21 |
g/cm3 |
|
বিদ্যুৎ প্রতিরোধ ক্ষমতা |
102 |
Ω/সেমি |
|
নমনীয় শক্তি |
590 |
এমপিএ |
(6000kgf/সেমি2) |
তরুণের মডুলাস |
450 |
Gপা |
(6000kgf/সেমি2) |
ভিকারস হার্ডনেস |
26 |
পা |
(2650 কেজিএফ/মিমি2) |
C.T.E.(RT-1000℃) |
4.0 |
x10-6/কে |
|
তাপ পরিবাহিতা (RT) |
250 |
W/mK |
|