2024-11-22
CVD ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণVeTek সেমিকন্ডাক্টরের মালিকানাধীন রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়া ব্যবহার করে উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) এর বাষ্প জমার মাধ্যমে উত্পাদিত হয়।
ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ উল্লেখযোগ্যভাবে এর পরিষেবা জীবনকে উন্নত করেগ্রাফাইট অংশএকাধিক প্রক্রিয়ার মাধ্যমে, বিশেষ করে উচ্চ-তাপমাত্রায়, অর্ধপরিবাহী উত্পাদন এবং ক্রিস্টাল বৃদ্ধির মতো অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিবেশে।
এখানে কেন নির্দিষ্ট কারণ আছেTaC আবরণগ্রাফাইট অংশগুলির স্থায়িত্ব বাড়ায়:
● উন্নত উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ
অত্যন্ত উচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা: TaC আবরণগুলি 2000 ডিগ্রি সেলসিয়াসের বেশি তাপমাত্রায় স্থিতিশীল থাকতে পারে এবং এমনকি 2200C এ কার্যকরভাবে কাজ করতে পারে। এই উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা আবরণকে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের সময় গলিত ধাতু এবং রাসায়নিক গ্যাসের ক্ষয় সহ্য করতে দেয়, যার ফলে গ্রাফাইট অংশগুলির পরিষেবা জীবন প্রসারিত হয়।
● চমৎকার জারা প্রতিরোধের
রাসায়নিক ক্ষয় প্রতিরোধ: TaC আবরণে হাইড্রোজেন, অ্যামোনিয়া এবং সিলিকন বাষ্পের মতো ক্ষয়কারী গ্যাসের শক্তিশালী প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে, যা কার্যকরভাবে এই গ্যাসগুলিকে গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটকে ক্ষয় করা থেকে প্রতিরোধ করতে পারে এবং কঠোর পরিবেশে গ্রাফাইট অংশগুলির ক্ষতির ঝুঁকি কমাতে পারে। এর মানে হল যে স্ফটিক বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন, আবরণটি অপরিচ্ছন্নতা স্থানান্তরকে বাধা দিতে পারে এবং স্ফটিক গুণমান এবং ফলন উন্নত করতে পারে।
● উন্নত যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য
ভাল আনুগত্য এবং তাপীয় শক প্রতিরোধের: TaC আবরণগুলির গ্রাফাইট স্তরের সাথে শক্তিশালী আনুগত্য রয়েছে, এটি নিশ্চিত করে যে আবরণটি উচ্চ-তাপমাত্রার ক্রিয়াকলাপের সময় খোসা ছাড়বে না বা ডিলামিনেট করবে না। উপরন্তু, এর চমৎকার তাপীয় শক প্রতিরোধ ক্ষমতা ক্র্যাকিং বা খোসা ছাড়াই দ্রুত তাপমাত্রা পরিবর্তন সহ্য করতে পারে, গ্রাফাইট অংশগুলির পরিষেবা জীবন আরও প্রসারিত করে।
● অশুদ্ধতা দূষণ হ্রাস করুন
অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা: TaC আবরণে অত্যন্ত কম অপরিচ্ছন্নতা রয়েছে, যা উচ্চ তাপমাত্রার পরিস্থিতিতে ঘটতে পারে এমন দূষণ সমস্যা কমাতে সাহায্য করে। এপিটাক্সিয়াল স্তরে স্থানান্তরিত হওয়া থেকে অবাঞ্ছিত অমেধ্য রোধ করে, TaC আবরণগুলি স্ফটিক বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার বিশুদ্ধতা এবং গুণমানকে উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করে।
● তাপ ব্যবস্থাপনা অপ্টিমাইজ করুন
তাপ পরিবাহিতা এবং প্রতিরোধ ক্ষমতা উন্নত করুন: TaC আবরণগুলির তুলনামূলকভাবে কম তাপ পরিবাহিতা এবং প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে, যা শক্তির দক্ষতা উন্নত করতে এবং শক্তির ক্ষতি কমাতে হিটার এবং অন্যান্য তাপ ব্যবস্থাপনা উপাদানগুলিতে এর প্রয়োগকে সক্ষম করে। এই বৈশিষ্ট্যটি শুধুমাত্র অপারেটিং দক্ষতা উন্নত করে না, তবে অতিরিক্ত গরমের কারণে উপাদানের ক্লান্তি এবং ক্ষতিও হ্রাস করে।