VeTek সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন নাইট্রাইডের উত্পাদনের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে এবং সিনিয়র বিশেষজ্ঞ এবং শীর্ষ প্রযুক্তিগত প্রতিভা নিয়ে গঠিত একটি গবেষণা ও উন্নয়ন দল রয়েছে। সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলির কঠোরতা, তাপ প্রতিরোধের, সাধারণ সিরামিক উপকরণগুলির পরিধান প্রতিরোধের এবং জারা প্রতিরোধের সুবিধা রয়েছে এবং ভাল তাপীয় শক প্রতিরোধের, উচ্চ তাপমাত্রার ক্রীপ প্রতিরোধের, ভাল স্ব-তৈলাক্তকরণ এবং ভাল রাসায়নিক স্থিতিশীলতার সুবিধা রয়েছে এবং এটি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। নতুন শক্তি, রাসায়নিক শিল্প, মহাকাশ এবং অর্ধপরিবাহী ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়।
1. চমৎকার রাসায়নিক স্থায়িত্ব
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকের চমৎকার রাসায়নিক স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং বিভিন্ন ধরনের শক্তিশালী অ্যাসিড, ক্ষার এবং ক্ষয়কারী গ্যাস সহ্য করতে পারে। সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া প্রায়ই ক্ষয়কারী রাসায়নিক মোকাবেলা করতে হবে, সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিক দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা গ্যারান্টি প্রদান করতে পারেন.
2. চমৎকার যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকের উচ্চ কঠোরতা, চমৎকার সংকোচনশীল শক্তি এবং পরিধান প্রতিরোধের, যান্ত্রিক চাপ এবং পৃষ্ঠ পরিধান সহ্য করতে সক্ষম, বিকৃতি বা ফেটে যাওয়া সহজ নয়। এই যান্ত্রিক সম্পত্তি অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে কাঠামোগত এবং প্রক্রিয়া অংশগুলির জন্য উপাদান হিসাবে এটিকে খুব উপযুক্ত করে তোলে।
3. উচ্চ-তাপমাত্রা স্থায়িত্ব
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিক উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে, নরম করা বা গলে যাওয়া সহজ নয় এবং সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াতে উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ এবং হ্যান্ডলিং সহ্য করতে পারে। এটি এটিকে উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া সরঞ্জামের মূল উপাদান যেমন গ্রিপার, প্রতিক্রিয়া চেম্বারের উপাদান এবং আরও অনেক কিছু তৈরিতে ব্যবহার করার অনুমতি দেয়।
4. চমৎকার অন্তরক বৈশিষ্ট্য
অর্ধপরিবাহী ডিভাইস উৎপাদনে অন্তরক বৈশিষ্ট্যগুলি গুরুত্বপূর্ণ। সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকের ভাল অন্তরক বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যা কার্যকরভাবে বর্তমান ফুটো বা ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক হস্তক্ষেপ থেকে সার্কিট উপাদানগুলিকে বিচ্ছিন্ন এবং রক্ষা করতে পারে, ডিভাইসের স্থায়িত্ব এবং নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করতে সহায়তা করে।
5. তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ পরিবাহিতা
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলির একটি উচ্চ তাপ পরিবাহিতা রয়েছে, কার্যকরীভাবে ডিভাইসের দ্বারা উত্পন্ন তাপ পরিচালনা করতে পারে এবং অপসারণ করতে পারে, অপারেটিং প্রক্রিয়াতে ডিভাইসের তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে সহায়তা করে। এটি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের উচ্চ-কর্মক্ষমতা অপারেশনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।
1. ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক এবং এচিং চেম্বারের উপাদান
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলি তাদের চমৎকার রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের কারণে প্রায়শই ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক এবং সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে এচিং চেম্বারের উপাদানগুলির জন্য উপকরণ হিসাবে ব্যবহৃত হয়। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি ওয়েফার বা সাবস্ট্রেটগুলিকে ঠিক করতে এবং স্থিতিশীল করতে ব্যবহৃত হয়, যখন এচিং চেম্বারের উপাদানগুলি ক্ষয়কারী গ্যাস এবং উচ্চ-তাপমাত্রা পরিবেশ সহ্য করতে ব্যবহৃত হয়।
2. গ্যাস বিতরণ প্লেট এবং প্রতিফলক
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিক গ্যাস বিতরণ প্লেট এবং প্রতিফলকগুলিতে অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম তৈরিতেও ব্যবহৃত হয়। গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্রতিক্রিয়াশীল বা প্রতিরক্ষামূলক গ্যাসগুলিকে সমানভাবে বিতরণ করতে ব্যবহৃত হয়, যখন প্রতিফলকগুলি প্রতিক্রিয়ার দক্ষতা এবং অভিন্নতা উন্নত করার জন্য প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে আলোর বিতরণ এবং প্রতিফলনকে অনুকূল করতে ব্যবহৃত হয়।
3. হোল্ডার এবং তাপীয় উপাদান
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলি প্রায়শই সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সরঞ্জামগুলিতে ধারক এবং তাপ ব্যবস্থাপনা উপাদান হিসাবে ব্যবহৃত হয়। স্থিতিশীল সরঞ্জাম অপারেশন এবং ডিভাইস প্রক্রিয়াকরণের সঠিকতা নিশ্চিত করতে এই উপাদানগুলির ভাল যান্ত্রিক শক্তি, পরিধান প্রতিরোধ এবং তাপ পরিবাহিতা থাকতে হবে।
4. কেমিক্যাল মেকানিক্যাল পলিশিং (CMP) প্যাড
সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিক কেমিক্যাল মেকানিক্যাল পলিশিং (CMP) প্রক্রিয়ায় প্যাড উপাদান হিসেবে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এটির চমৎকার সমতলতা এবং পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে এবং অর্ধপরিবাহী ওয়েফার পৃষ্ঠের সমতলতা এবং নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে পলিশিং প্রক্রিয়া চলাকালীন স্থিতিশীল সহায়তা প্রদান করতে পারে।