ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড

VeTek সেমিকন্ডাক্টর পোরাস ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) হল একটি উচ্চ-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন সিরামিক উপাদান যা ট্যান্টালাম এবং কার্বনের বৈশিষ্ট্যগুলিকে একত্রিত করে। এর ছিদ্রযুক্ত কাঠামো উচ্চ তাপমাত্রা এবং চরম পরিবেশে নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনের জন্য খুব উপযুক্ত। TaC চমৎকার কঠোরতা, তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের সমন্বয় করে, এটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণে একটি আদর্শ উপাদান পছন্দ করে তোলে।

ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) ট্যান্টালম (Ta) এবং কার্বন (C) দ্বারা গঠিত, যেখানে ট্যান্টালাম কার্বন পরমাণুর সাথে একটি শক্তিশালী রাসায়নিক বন্ধন তৈরি করে, যা উপাদানটিকে অত্যন্ত উচ্চ স্থায়িত্ব দেয় এবং পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা দেয়। ছিদ্রযুক্ত TaC এর ছিদ্রযুক্ত কাঠামো উপাদানের উত্পাদন প্রক্রিয়ার সময় তৈরি হয় এবং নির্দিষ্ট প্রয়োগের প্রয়োজন অনুসারে ছিদ্র নিয়ন্ত্রণ করা যায়। এই পণ্য সাধারণত দ্বারা নির্মিত হয়রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD)পদ্ধতি, এর ছিদ্র আকার এবং বিতরণের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করে।

ট্যানটালাম কার্বাইডের আণবিক গঠন

VeTek সেমিকন্ডাক্টর পোরাস ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) এর নিম্নলিখিত পণ্যের বৈশিষ্ট্য রয়েছে:

- পোরোসিটি: ছিদ্রযুক্ত কাঠামো এটিকে নির্দিষ্ট প্রয়োগের পরিস্থিতিতে বিভিন্ন ফাংশন দেয়, যার মধ্যে গ্যাসের বিস্তার, পরিস্রাবণ বা নিয়ন্ত্রিত তাপ অপচয়।

- উচ্চ গলনাঙ্ক: ট্যানটালাম কার্বাইডের একটি অত্যন্ত উচ্চ গলনাঙ্ক রয়েছে প্রায় 3,880°C, যা অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশের জন্য উপযুক্ত।

- চমৎকার কঠোরতা: ছিদ্রযুক্ত TaC-এর অত্যন্ত উচ্চ কঠোরতা প্রায় 9-10 Mohs কঠোরতা স্কেলে, হীরার মতো। , এবং চরম অবস্থার অধীনে যান্ত্রিক পরিধান প্রতিরোধ করতে পারেন.

- তাপীয় স্থিতিশীলতা: ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) উপাদান উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে স্থিতিশীল থাকতে পারে এবং শক্তিশালী তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে, উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে এর সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে।

- উচ্চ তাপ পরিবাহিতা: এর ছিদ্র থাকা সত্ত্বেও, ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড এখনও ভাল তাপ পরিবাহিতা বজায় রাখে, দক্ষ তাপ স্থানান্তর নিশ্চিত করে।

- নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ: ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) এর নিম্ন তাপীয় সম্প্রসারণ সহগ উপাদানটিকে উল্লেখযোগ্য তাপমাত্রার ওঠানামার অধীনে মাত্রাগতভাবে স্থিতিশীল থাকতে সাহায্য করে এবং তাপীয় চাপের প্রভাব কমায়।

TaC আবরণের শারীরিক বৈশিষ্ট্য：

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে, পোরাস ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) নিম্নলিখিত নির্দিষ্ট মূল ভূমিকা পালন করেs:

উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়ায় যেমনপ্লাজমা এচিংএবং CVD, VeTek অর্ধপরিবাহী ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড প্রায়শই প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলির জন্য একটি প্রতিরক্ষামূলক আবরণ হিসাবে ব্যবহৃত হয়। এর শক্তিশালী জারা প্রতিরোধের কারণেTaC আবরণএবং এর উচ্চ-তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা। এই বৈশিষ্ট্যগুলি নিশ্চিত করে যে এটি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস বা চরম তাপমাত্রার সংস্পর্শে থাকা পৃষ্ঠগুলিকে কার্যকরভাবে রক্ষা করে, যার ফলে উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলির স্বাভাবিক প্রতিক্রিয়া নিশ্চিত হয়।

প্রসারণ প্রক্রিয়ায়, ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলিতে পদার্থের মিশ্রণ রোধ করতে একটি কার্যকর প্রসারণ বাধা হিসাবে কাজ করতে পারে। এই বৈশিষ্ট্যটি প্রায়শই আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ডোপ্যান্টের বিস্তার নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর পোরাস ট্যানটালাম কার্বাইডের ছিদ্রযুক্ত কাঠামো সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশের জন্য খুব উপযুক্ত যার জন্য সুনির্দিষ্ট গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ বা পরিস্রাবণ প্রয়োজন। এই প্রক্রিয়ায়, ছিদ্রযুক্ত TaC প্রধানত গ্যাস পরিস্রাবণ এবং বিতরণের ভূমিকা পালন করে। এর রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা নিশ্চিত করে যে পরিস্রাবণ প্রক্রিয়া চলাকালীন কোন দূষক প্রবর্তিত হয় না। এটি কার্যকরভাবে প্রক্রিয়াজাত পণ্যের বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করে।

একটি মাইক্রোস্কোপিক ক্রস-সেকশনে ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ: