ভৌত বাষ্প জমা আবরণের নীতি ও প্রযুক্তি (1/2) - VeTek সেমিকন্ডাক্টর

এর শারীরিক প্রক্রিয়াভ্যাকুয়াম আবরণ

ভ্যাকুয়াম আবরণকে মূলত তিনটি প্রক্রিয়ায় ভাগ করা যায়: "ফিল্ম উপাদান বাষ্পীকরণ", "ভ্যাকুয়াম পরিবহন" এবং "পাতলা ফিল্ম বৃদ্ধি"। ভ্যাকুয়াম আবরণে, যদি ফিল্ম উপাদান শক্ত হয়, তবে কঠিন ফিল্ম উপাদানটিকে গ্যাসে বাষ্পীকরণ বা পরমান্বিত করার ব্যবস্থা গ্রহণ করা উচিত এবং তারপরে বাষ্পযুক্ত ফিল্ম উপাদান কণাগুলি একটি ভ্যাকুয়ামে পরিবাহিত হয়। পরিবহন প্রক্রিয়া চলাকালীন, কণাগুলি সংঘর্ষের অভিজ্ঞতা নাও পেতে পারে এবং সরাসরি সাবস্ট্রেটে পৌঁছাতে পারে, অথবা তারা মহাকাশে সংঘর্ষে লিপ্ত হতে পারে এবং বিক্ষিপ্ত হওয়ার পরে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে পৌঁছাতে পারে। অবশেষে, কণাগুলি সাবস্ট্রেটের উপর ঘনীভূত হয় এবং একটি পাতলা ফিল্মে বৃদ্ধি পায়। অতএব, আবরণ প্রক্রিয়ায় ফিল্ম উপাদানের বাষ্পীভবন বা পরমানন্দ, শূন্যে বায়বীয় পরমাণুর পরিবহন এবং কঠিন পৃষ্ঠে বায়বীয় পরমাণুর শোষণ, প্রসারণ, নিউক্লিয়েশন এবং শোষণ জড়িত।

ভ্যাকুয়াম আবরণ শ্রেণীবিভাগ

যে বিভিন্ন উপায়ে ফিল্ম উপাদান কঠিন থেকে বায়বীয়তে পরিবর্তিত হয় এবং ভ্যাকুয়ামে ফিল্ম উপাদান পরমাণুর বিভিন্ন পরিবহন প্রক্রিয়া অনুসারে, ভ্যাকুয়াম আবরণকে মূলত চার প্রকারে ভাগ করা যায়: ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন, ভ্যাকুয়াম স্পুটারিং, ভ্যাকুয়াম আয়ন প্রলেপ, এবং ভ্যাকুয়াম রাসায়নিক বাষ্প জমা। প্রথম তিনটি পদ্ধতি বলা হয়শারীরিক বাষ্প জমা (PVD), এবং পরেরটিকে বলা হয়রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD).

ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ

ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ প্রাচীনতম ভ্যাকুয়াম আবরণ প্রযুক্তিগুলির মধ্যে একটি। 1887 সালে, আর. নাহরওল্ড ভ্যাকুয়ামে প্ল্যাটিনামের পরমানন্দের মাধ্যমে প্ল্যাটিনাম ফিল্ম তৈরির কথা জানান, যাকে বাষ্পীভবন আবরণের উত্স বলে মনে করা হয়। এখন বাষ্পীভবন আবরণ প্রাথমিক প্রতিরোধের বাষ্পীভবন আবরণ থেকে বিভিন্ন প্রযুক্তিতে যেমন ইলেক্ট্রন বিম বাষ্পীভবন আবরণ, ইন্ডাকশন হিটিং বাষ্পীভবন আবরণ এবং পালস লেজারের বাষ্পীভবন আবরণের মতো বিকশিত হয়েছে।

প্রতিরোধের গরমভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ

রেজিস্ট্যান্স বাষ্পীভবন উৎস হল এমন একটি যন্ত্র যা ফিল্ম উপাদানকে প্রত্যক্ষ বা পরোক্ষভাবে গরম করতে বৈদ্যুতিক শক্তি ব্যবহার করে। প্রতিরোধের বাষ্পীভবন উত্স সাধারণত উচ্চ গলনাঙ্ক, কম বাষ্প চাপ, ভাল রাসায়নিক এবং যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা সহ ধাতু, অক্সাইড বা নাইট্রাইড দিয়ে তৈরি, যেমন টংস্টেন, মলিবডেনাম, ট্যানটালাম, উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট, অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড সিরামিক, বোরন নাইট্রাইড সিরামিক এবং অন্যান্য উপাদান। . প্রতিরোধের বাষ্পীভবন উৎসের আকারে প্রধানত ফিলামেন্ট উত্স, ফয়েল উত্স এবং ক্রুসিবল অন্তর্ভুক্ত।

ফিলামেন্ট উত্স এবং ফয়েল উত্সের জন্য ব্যবহার করার সময়, বাষ্পীভবনের উত্সের দুটি প্রান্ত বাদাম দিয়ে টার্মিনাল পোস্টে ঠিক করুন। ক্রুসিবলটি সাধারণত একটি সর্পিল তারের মধ্যে স্থাপন করা হয় এবং সর্পিল তারটি ক্রুসিবলকে গরম করার জন্য চালিত হয় এবং তারপর ক্রুসিবল ফিল্ম উপাদানে তাপ স্থানান্তর করে।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল একটি পেশাদার চীনা প্রস্তুতকারকট্যানটালাম কার্বাইড লেপ, সিলিকন কার্বাইড আবরণ, বিশেষ গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড সিরামিকএবংঅন্যান্য সেমিকন্ডাক্টর সিরামিক।VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য বিভিন্ন আবরণ পণ্যের জন্য উন্নত সমাধান প্রদান করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।

যদি আপনার কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণ প্রয়োজন, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না দয়া করে.

মোব/হোয়াটসঅ্যাপ: +86-180 6922 0752

ইমেইল: anny@veteksemi.com