ভৌত বাষ্প জমা আবরণের নীতি ও প্রযুক্তি (2/2) - VeTek সেমিকন্ডাক্টর

ইলেকট্রন মরীচি বাষ্পীভবন আবরণ

রেজিস্ট্যান্স হিটিং এর কিছু অসুবিধার কারণে, যেমন রেজিস্ট্যান্স বাষ্পীভবন উত্স দ্বারা প্রদত্ত কম শক্তির ঘনত্ব, বাষ্পীভবন উত্সের নির্দিষ্ট বাষ্পীভবন নিজেই ফিল্ম বিশুদ্ধতাকে প্রভাবিত করে, ইত্যাদি, নতুন বাষ্পীভবন উত্সগুলি বিকাশ করা দরকার। ইলেক্ট্রন বিম বাষ্পীভবন আবরণ একটি আবরণ প্রযুক্তি যা বাষ্পীভবন উপাদানকে একটি জল-ঠান্ডা ক্রুসিবলের মধ্যে রাখে, সরাসরি ফিল্ম উপাদানকে গরম করার জন্য ইলেক্ট্রন রশ্মি ব্যবহার করে এবং ফিল্ম উপাদানকে বাষ্পীভূত করে এবং একটি ফিল্ম তৈরি করতে সাবস্ট্রেটের উপর ঘনীভূত করে। ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উৎসকে 6000 ডিগ্রি সেলসিয়াসে উত্তপ্ত করা যেতে পারে, যা প্রায় সব সাধারণ পদার্থকে গলিয়ে দিতে পারে এবং উচ্চ গতিতে ধাতু, অক্সাইড এবং প্লাস্টিকের মতো সাবস্ট্রেটে পাতলা ফিল্ম জমা করতে পারে।

লেজার পালস জমা

পালসড লেজার ডিপোজিশন (PLD)একটি ফিল্ম তৈরির পদ্ধতি যা লক্ষ্যবস্তুকে বিকিরণ করতে উচ্চ-শক্তির স্পন্দিত লেজার রশ্মি ব্যবহার করে (বাল্ক টার্গেট ম্যাটেরিয়াল বা গুঁড়ো ফিল্ম উপাদান থেকে চাপা উচ্চ-ঘনত্বের বাল্ক উপাদান), যাতে স্থানীয় লক্ষ্যবস্তু তাত্ক্ষণিকভাবে খুব উচ্চ তাপমাত্রায় উঠে যায়। এবং বাষ্পীভূত হয়ে স্তরের উপর একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে।

আণবিক মরীচি এপিটাক্সি

মলিকুলার বিম এপিটাক্সি (এমবিই) হল একটি পাতলা ফিল্ম প্রস্তুতি প্রযুক্তি যা এপিটাক্সিয়াল ফিল্মের পুরুত্ব, পাতলা ফিল্মের ডোপিং এবং পারমাণবিক স্কেলে ইন্টারফেস সমতলতা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। এটি প্রধানত অতি-পাতলা ফিল্ম, মাল্টি-লেয়ার কোয়ান্টাম ওয়েলস এবং সুপারল্যাটিসের মতো সেমিকন্ডাক্টরের জন্য উচ্চ-নির্ভুলতা পাতলা ফিল্ম প্রস্তুত করতে ব্যবহৃত হয়। নতুন প্রজন্মের ইলেকট্রনিক ডিভাইস এবং অপটোইলেক্ট্রনিক ডিভাইসের জন্য এটি একটি প্রধান প্রস্তুতির প্রযুক্তি।

মলিকুলার বিম এপিটাক্সি একটি আবরণ পদ্ধতি যা স্ফটিকের উপাদানগুলিকে বিভিন্ন বাষ্পীভবন উত্সে রাখে, ধীরে ধীরে 1e-8Pa ​​এর অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে ফিল্ম উপাদানকে উত্তপ্ত করে, একটি আণবিক মরীচি প্রবাহ তৈরি করে এবং একটি নির্দিষ্ট স্তরে সাবস্ট্রেটে স্প্রে করে। তাপীয় গতির গতি এবং একটি নির্দিষ্ট অনুপাত, সাবস্ট্রেটে এপিটাক্সিয়াল পাতলা ফিল্ম বৃদ্ধি করে এবং অনলাইনে বৃদ্ধির প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ করে।

সংক্ষেপে, এটি একটি ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ, যার মধ্যে তিনটি প্রক্রিয়া রয়েছে: আণবিক মরীচি উৎপাদন, আণবিক মরীচি পরিবহন এবং আণবিক মরীচি জমা। আণবিক মরীচি এপিটাক্সি সরঞ্জামের পরিকল্পিত চিত্রটি উপরে দেখানো হয়েছে। লক্ষ্যবস্তু বাষ্পীভবন উৎসে স্থাপন করা হয়। প্রতিটি বাষ্পীভবন উত্স একটি বিভ্রান্তিকর আছে. বাষ্পীভবন উত্সটি সাবস্ট্রেটের সাথে সারিবদ্ধ। সাবস্ট্রেট গরম করার তাপমাত্রা সামঞ্জস্যযোগ্য। এছাড়াও, অনলাইনে পাতলা ফিল্মের স্ফটিক কাঠামো পর্যবেক্ষণ করার জন্য একটি মনিটরিং ডিভাইস রয়েছে।

ভ্যাকুয়াম স্পুটারিং আবরণ

যখন কঠিন পৃষ্ঠ শক্তিযুক্ত কণা দ্বারা বোমাবর্ষণ করা হয়, তখন কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণুগুলি শক্তিশালী কণার সাথে সংঘর্ষ হয় এবং পর্যাপ্ত শক্তি এবং ভরবেগ প্রাপ্ত করা এবং পৃষ্ঠ থেকে পালানো সম্ভব হয়। এই ঘটনাটিকে স্পুটারিং বলা হয়। স্পাটারিং আবরণ হল একটি আবরণ প্রযুক্তি যা শক্তিশালী কণা দিয়ে কঠিন লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করে, লক্ষ্য পরমাণুগুলিকে স্পুটারিং করে এবং একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা করে।

ক্যাথোড লক্ষ্য পৃষ্ঠে একটি চৌম্বক ক্ষেত্র প্রবর্তন ইলেকট্রনকে সীমাবদ্ধ করতে, ইলেকট্রন পথ প্রসারিত করতে, আর্গন পরমাণুর আয়নকরণের সম্ভাবনা বাড়াতে এবং কম চাপে স্থিতিশীল স্রাব অর্জন করতে ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ফিল্ড ব্যবহার করতে পারে। এই নীতির উপর ভিত্তি করে আবরণ পদ্ধতিকে ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং আবরণ বলা হয়।

এর মূল চিত্রডিসি ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংউপরে দেখানো হিসাবে হয়. ভ্যাকুয়াম চেম্বারের প্রধান উপাদান হল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং টার্গেট এবং সাবস্ট্রেট। সাবস্ট্রেট এবং টার্গেট একে অপরের মুখোমুখি, সাবস্ট্রেটটি গ্রাউন্ডেড, এবং টার্গেটটি একটি নেতিবাচক ভোল্টেজের সাথে সংযুক্ত, অর্থাৎ, সাবস্ট্রেটের লক্ষ্যের তুলনায় ইতিবাচক সম্ভাবনা রয়েছে, তাই বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের দিকটি সাবস্ট্রেট থেকে লক্ষ্যে চৌম্বক ক্ষেত্র তৈরি করতে ব্যবহৃত স্থায়ী চুম্বক লক্ষ্যের পিছনে সেট করা হয় এবং স্থায়ী চুম্বকের N মেরু থেকে S মেরু পর্যন্ত বল বিন্দুর চৌম্বক রেখাগুলি ক্যাথোড লক্ষ্য পৃষ্ঠের সাথে একটি বদ্ধ স্থান তৈরি করে। 

লক্ষ্য এবং চুম্বক ঠান্ডা জল দ্বারা ঠান্ডা করা হয়. যখন ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি 1e-3Pa-এর কম জায়গায় খালি করা হয়, তখন Ar ভ্যাকুয়াম চেম্বারে 0.1 থেকে 1Pa তে ভরা হয় এবং তারপর গ্যাস গ্লো ডিসচার্জ এবং প্লাজমা তৈরি করতে ধনাত্মক এবং ঋণাত্মক খুঁটিতে একটি ভোল্টেজ প্রয়োগ করা হয়। আর্গন প্লাজমাতে আর্গন আয়নগুলি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বলের ক্রিয়ায় ক্যাথোড লক্ষ্যের দিকে চলে যায়, ক্যাথোড অন্ধকার অঞ্চলের মধ্য দিয়ে যাওয়ার সময় ত্বরান্বিত হয়, লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করে এবং লক্ষ্য পরমাণু এবং সেকেন্ডারি ইলেকট্রনগুলিকে ছিটকে দেয়।

ডিসি স্পুটারিং আবরণ প্রক্রিয়ায়, কিছু প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস প্রায়শই প্রবর্তিত হয়, যেমন অক্সিজেন, নাইট্রোজেন, মিথেন বা হাইড্রোজেন সালফাইড, হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড ইত্যাদি। এই প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি আর্গন প্লাজমাতে যুক্ত হয় এবং উত্তেজিত, আয়নিত বা আয়নিত হয়। পরমাণু সক্রিয় গ্রুপ বিভিন্ন গঠন. এই সক্রিয় গোষ্ঠীগুলি লক্ষ্য পরমাণুর সাথে একসাথে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে পৌঁছায়, রাসায়নিক বিক্রিয়া করে এবং অক্সাইড, নাইট্রাইড ইত্যাদির মতো সংশ্লিষ্ট যৌগিক ফিল্ম তৈরি করে। এই প্রক্রিয়াটিকে ডিসি প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং বলা হয়।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল একটি পেশাদার চীনা প্রস্তুতকারকট্যানটালাম কার্বাইড লেপ, সিলিকন কার্বাইড আবরণ, বিশেষ গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড সিরামিকএবংঅন্যান্য সেমিকন্ডাক্টর সিরামিক. VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য বিভিন্ন আবরণ পণ্যের জন্য উন্নত সমাধান প্রদান করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।

আপনার যদি কোনো জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণের প্রয়োজন হয়, তাহলে অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

মোব/হোয়াটসঅ্যাপ: +86-180 6922 0752

ইমেইল: anny@veteksemi.com