সলিড SiC এচিং ফোকাসিং রিং

VeTek সেমিকন্ডাক্টর CVD সলিড SiC প্রযুক্তিতে দারুণ উন্নতি করেছে এবং এখন বিশ্ব-নেতৃস্থানীয় স্তরের সাথে সলিড SiC এচিং ফোকাসিং রিং তৈরি করতে সক্ষম। VeTek সেমিকন্ডাক্টরের সলিড SiC এচিং ফোকাসিং রিং হল একটি অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড উপাদান পণ্য যা রাসায়নিক বাষ্প জমার প্রক্রিয়ার মাধ্যমে তৈরি করা হয়েছে।

সলিড SiC এচিং ফোকাসিং রিং ব্যবহার করা হয় সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, বিশেষ করে প্লাজমা এচিং সিস্টেমে। SiC ফোকাস রিং হল একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান যা সিলিকন কার্বাইড (SiC) ওয়েফারের সুনির্দিষ্ট এবং নিয়ন্ত্রিত এচিং অর্জনে সহায়তা করে।

প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, ফোকাস রিং একাধিক ভূমিকা পালন করে নিম্নরূপ:

● প্লাজমা ফোকাস করা: কঠিন SiC এচিং ফোকাসিং রিং ওয়েফারের চারপাশে প্লাজমাকে আকার দিতে এবং ঘনীভূত করতে সাহায্য করে, নিশ্চিত করে যে এচিং প্রক্রিয়াটি সমানভাবে এবং দক্ষতার সাথে ঘটে। এটি প্লাজমাকে পছন্দসই এলাকায় সীমাবদ্ধ রাখতে সাহায্য করে, বিপথগামী এচিং বা পার্শ্ববর্তী অঞ্চলের ক্ষতি প্রতিরোধ করে।

●  চেম্বারের দেয়াল রক্ষা করা: ফোকাসিং রিং প্লাজমা এবং চেম্বারের দেয়ালের মধ্যে একটি বাধা হিসাবে কাজ করে, সরাসরি যোগাযোগ এবং সম্ভাব্য ক্ষতি প্রতিরোধ করে। SiC প্লাজমা ক্ষয়ের জন্য অত্যন্ত প্রতিরোধী এবং চেম্বারের দেয়ালের জন্য চমৎকার সুরক্ষা প্রদান করে।

●  Tতাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ: sic ফোকাস রিং এচিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফার জুড়ে অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন বজায় রাখতে সহায়তা করে। এটি তাপ নষ্ট করতে সাহায্য করে এবং স্থানীয়কৃত ওভারহিটিং বা তাপীয় গ্রেডিয়েন্ট প্রতিরোধ করে যা এচিং ফলাফলকে প্রভাবিত করতে পারে।

অসামান্য তাপ এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের কারণে সলিড SiC কে ফোকাসিং রিংগুলির জন্য বেছে নেওয়া হয়েছে। এই বৈশিষ্ট্যগুলি প্লাজমা এচিং সিস্টেমের অভ্যন্তরে কঠোর এবং চাহিদাপূর্ণ অবস্থার জন্য SiC একটি উপযুক্ত উপাদান তৈরি করে।

এটি লক্ষণীয় যে ফোকাসিং রিংগুলির নকশা এবং বৈশিষ্ট্যগুলি নির্দিষ্ট প্লাজমা এচিং সিস্টেম এবং প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে পরিবর্তিত হতে পারে। VeTek সেমিকন্ডাক্টর সর্বোত্তম এচিং কর্মক্ষমতা এবং দীর্ঘায়ু নিশ্চিত করতে ফোকাসিং রিংগুলির আকৃতি, মাত্রা এবং পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্যগুলিকে অপ্টিমাইজ করে৷ সলিড SiC ব্যাপকভাবে ওয়েফার ক্যারিয়ার, সাসেপ্টর, ডামি ওয়েফার, গাইড রিং, এচিং প্রক্রিয়ার অংশ, সিভিডি প্রক্রিয়া ইত্যাদির জন্য ব্যবহৃত হয়।