উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনে উচ্চ বিশুদ্ধ SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলের একটি নেতৃস্থানীয় প্রস্তুতকারক এবং উদ্ভাবক। উচ্চ বিশুদ্ধতার SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর ডিফিউশন ফার্নেসগুলিতে ওয়েফার ট্রান্সফার বা লোডিং প্ল্যাটফর্ম হিসাবে ব্যবহৃত হয়। VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য উন্নত প্রযুক্তি এবং পণ্য সমাধান প্রদান করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ। আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামে ব্যবহৃত একটি মূল উপাদান। পণ্যটি উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন কার্বাইড (SiC) উপাদান দিয়ে তৈরি। উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং জারা প্রতিরোধের চমৎকার বৈশিষ্ট্যগুলির সাথে মিলিত, এটি ওয়েফার স্থানান্তর, সমর্থন এবং উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা এবং পণ্যের গুণমান নিশ্চিত করার জন্য নির্ভরযোগ্য গ্যারান্টি প্রদান করে।

সাধারণত, উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়াতে নিম্নলিখিত নির্দিষ্ট ভূমিকা পালন করে:

ওয়েফার স্থানান্তর: উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল সাধারণত উচ্চ-তাপমাত্রার প্রসারণ বা অক্সিডেশন চুল্লিগুলিতে একটি ওয়েফার স্থানান্তর ডিভাইস হিসাবে ব্যবহৃত হয়। এর উচ্চ কঠোরতা এটিকে পরিধান-প্রতিরোধী করে তোলে এবং দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের সময় বিকৃত করা সহজ নয় এবং স্থানান্তর প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারটি সঠিকভাবে অবস্থান করে তা নিশ্চিত করতে পারে। এর উচ্চ তাপমাত্রা এবং জারা প্রতিরোধের সাথে মিলিত, এটি ওয়েফারগুলির কোনও দূষণ বা ক্ষতি না করে উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে ফার্নেস টিউবের মধ্যে এবং বাইরে নিরাপদে ওয়েফারগুলি স্থানান্তর করতে পারে।

ওয়েফার সমর্থন: SiC উপাদানে তাপ সম্প্রসারণের একটি কম সহগ রয়েছে, যার মানে তাপমাত্রা পরিবর্তন হলে এর আকার কম পরিবর্তিত হয়, যা প্রক্রিয়ায় সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ বজায় রাখতে সাহায্য করে। রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) বা ভৌত বাষ্প জমা (PVD) প্রক্রিয়াগুলিতে, SiC Cantilever প্যাডেল ওয়েফারটিকে সমর্থন এবং ঠিক করার জন্য ব্যবহার করা হয় যাতে জমা প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারটি স্থিতিশীল এবং সমতল থাকে, যার ফলে ফিল্মের অভিন্নতা এবং গুণমান উন্নত হয়। .

উচ্চ তাপমাত্রা প্রসেস প্রয়োগ: SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলের চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং এটি 1600°C পর্যন্ত তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে। অতএব, এই পণ্য ব্যাপকভাবে উচ্চ তাপমাত্রা annealing, অক্সিডেশন, প্রসারণ এবং অন্যান্য প্রক্রিয়া ব্যবহৃত হয়.

উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য: