চীনে পেশাদার ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চক প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চক সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সরঞ্জামগুলির মূল উপাদানগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, বিশেষত যখন এটি CVD এবং PECVD প্রক্রিয়াগুলির ক্ষেত্রে আসে। ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর উচ্চ-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চক উত্পাদন এবং সরবরাহে বিশেষজ্ঞ। আপনার আরও অনুসন্ধান স্বাগত জানাই.
ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চক প্রধানত সিলিকন কার্বাইড (SiC), চমৎকার কর্মক্ষমতা সহ একটি সিরামিক উপাদান দিয়ে গঠিত। ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চক সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়ায় ওয়েফার সমর্থন এবং ফিক্সেশনের ভূমিকা পালন করতে পারে। এই পণ্যটি ইউনিফর্ম সাকশন প্রদান করে ওয়েফার এবং চাকের মধ্যে ঘনিষ্ঠ ফিট নিশ্চিত করতে পারে, কার্যকরভাবে ওয়েফারের ওয়ারিং এবং বিকৃতি এড়াতে পারে, যার ফলে প্রক্রিয়াকরণের সময় প্রবাহের সমতলতা নিশ্চিত করে। এছাড়াও, সিলিকন কার্বাইডের উচ্চ তাপমাত্রার প্রতিরোধ চকের স্থায়িত্ব নিশ্চিত করতে পারে এবং তাপীয় প্রসারণের কারণে ওয়েফারটিকে পড়ে যাওয়া থেকে বিরত রাখতে পারে। আরো পরামর্শ স্বাগত জানাই.
ইলেকট্রনিক্সের ক্ষেত্রে, পোরাস SiC ভ্যাকুয়াম চক লেজার কাটা, পাওয়ার ডিভাইস, ফটোভোলটাইক মডিউল এবং পাওয়ার ইলেকট্রনিক উপাদানগুলির জন্য একটি অর্ধপরিবাহী উপাদান হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে। এর উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করার ক্ষমতা এটিকে ইলেকট্রনিক ডিভাইসের জন্য একটি আদর্শ উপাদান করে তোলে। অপটোইলেক্ট্রনিক্সের ক্ষেত্রে, পোরাস এসআইসি ভ্যাকুয়াম চক অপটোইলেক্ট্রনিক ডিভাইস যেমন লেজার, এলইডি প্যাকেজিং উপকরণ এবং সৌর কোষ তৈরি করতে ব্যবহার করা যেতে পারে। এর চমৎকার অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্য এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা ডিভাইসের কর্মক্ষমতা এবং স্থায়িত্ব উন্নত করতে সাহায্য করে।
ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর প্রদান করতে পারে:
1. পরিচ্ছন্নতা: SiC ক্যারিয়ার প্রক্রিয়াকরণ, খোদাই, পরিষ্কার এবং চূড়ান্ত ডেলিভারির পরে, এটিকে 1200 ডিগ্রিতে 1.5 ঘন্টার জন্য টেম্পার করতে হবে যাতে সমস্ত অমেধ্য পুড়িয়ে ফেলা হয় এবং তারপর ভ্যাকুয়াম ব্যাগে প্যাক করা হয়।
2. পণ্য সমতলতা: ওয়েফার স্থাপন করার আগে, দ্রুত ট্রান্সমিশনের সময় বাহকটিকে উড়তে না দেওয়ার জন্য এটিকে সরঞ্জামের উপর স্থাপন করার সময় এটি অবশ্যই -60kpa এর উপরে হতে হবে। ওয়েফার স্থাপন করার পরে, এটি -70kpa এর উপরে হতে হবে। যদি নো-লোড তাপমাত্রা -50kpa-এর চেয়ে কম হয়, তাহলে মেশিনটি সতর্ক থাকবে এবং কাজ করতে পারবে না। অতএব, পিঠের সমতলতা খুব গুরুত্বপূর্ণ।
3. গ্যাস পাথ নকশা: গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী কাস্টমাইজড.
গ্রাহক পরীক্ষার 3 ধাপ:
1. অক্সিডেশন পরীক্ষা: কোন অক্সিজেন নেই (গ্রাহক দ্রুত 900 ডিগ্রি পর্যন্ত গরম করে, তাই পণ্যটি 1100 ডিগ্রিতে অ্যানিল করা দরকার)।
2. ধাতু অবশিষ্টাংশ পরীক্ষা: দ্রুত 1200 ডিগ্রী পর্যন্ত তাপ, ওয়েফার দূষিত করার জন্য কোন ধাতব অমেধ্য নির্গত হয় না।
3. ভ্যাকুয়াম পরীক্ষা: ওয়েফার সহ এবং ছাড়া চাপের মধ্যে পার্থক্য +2ka (সাকশন বল) এর মধ্যে।
VeTek সেমিকন্ডাক্টর ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চক বৈশিষ্ট্য টেবিল:
VeTek সেমিকন্ডাক্টর ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চাকের দোকান:
সেমিকন্ডাক্টর চিপ এপিটাক্সি ইন্ডাস্ট্রি চেইনের ওভারভিউ: