MOCVD-এর জন্য SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনে MOCVD-এর জন্য SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টরের একটি নেতৃস্থানীয় প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য SiC আবরণ অ্যাপ্লিকেশন এবং এপিটাক্সিয়াল সেমিকন্ডাক্টর পণ্যগুলিতে বিশেষজ্ঞ। আমাদের MOCVD SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টরগুলি প্রতিযোগিতামূলক গুণমান এবং মূল্য প্রদান করে, ইউরোপ এবং আমেরিকা জুড়ে বাজার পরিবেশন করে। আমরা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের অগ্রগতিতে আপনার দীর্ঘমেয়াদী, বিশ্বস্ত অংশীদার হতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

MOCVD-এর জন্য VeTek সেমিকন্ডাক্টরের SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর হল একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতার SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ক্যারিয়ার, বিশেষভাবে ওয়েফার চিপগুলিতে এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। MOCVD প্রক্রিয়াকরণের একটি কেন্দ্রীয় উপাদান হিসাবে, সাধারণত একটি গিয়ার বা রিং আকারে, এটি ব্যতিক্রমী তাপ প্রতিরোধের এবং জারা প্রতিরোধের গর্ব করে, চরম পরিবেশে স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।

MOCVD SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টরের মূল বৈশিষ্ট্য:

● ফ্লেক-প্রতিরোধী আবরণ: সমস্ত পৃষ্ঠে অভিন্ন SiC আবরণ কভারেজ নিশ্চিত করে, কণা বিচ্ছিন্ন হওয়ার ঝুঁকি হ্রাস করে

● চমৎকার উচ্চ-তাপমাত্রা জারণ প্রতিরোধce: 1600°C পর্যন্ত তাপমাত্রায় স্থিতিশীল থাকে

● উচ্চ বিশুদ্ধতা: CVD রাসায়নিক বাষ্প জমার মাধ্যমে তৈরি, উচ্চ-তাপমাত্রা ক্লোরিনেশন অবস্থার জন্য উপযুক্ত

● উচ্চতর জারা প্রতিরোধের: উচ্চমাত্রায় অ্যাসিড, ক্ষার, লবণ, এবং জৈব বিকারক প্রতিরোধী

● অপ্টিমাইজ করা ল্যামিনার এয়ারফ্লো প্যাটার্ন: বায়ুপ্রবাহ গতিবিদ্যার অভিন্নতা বাড়ায়

● ইউনিফর্ম থার্মাল ডিস্ট্রিবিউশন: উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া চলাকালীন স্থিতিশীল তাপ বিতরণ নিশ্চিত করে

● দূষণ প্রতিরোধ: দূষক বা অমেধ্যের বিস্তার রোধ করে, ওয়েফার পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে

VeTek সেমিকন্ডাক্টরে, আমরা আমাদের ক্লায়েন্টদের কাছে নির্ভরযোগ্য পণ্য এবং পরিষেবা সরবরাহ করে কঠোর মানের মান মেনে চলি। আমরা শুধুমাত্র প্রিমিয়াম উপকরণ নির্বাচন করি, শিল্প কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা পূরণ এবং অতিক্রম করার জন্য প্রচেষ্টা। MOCVD-এর জন্য আমাদের SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর মানের প্রতি এই অঙ্গীকারের উদাহরণ দেয়। আমরা কীভাবে আপনার সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের প্রয়োজনগুলিকে সমর্থন করতে পারি সে সম্পর্কে আরও জানতে আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।

CVD SIC ফিল্ম ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার:

SEM DATA OF CVD SIC FILM

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য:

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি	সাধারণ মান
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার	FCC β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, প্রধানত (111) ভিত্তিক
ঘনত্ব	3.21 গ্রাম/সেমি³
কঠোরতা	2500 ভিকার কঠোরতা (500 গ্রাম লোড)
শস্য আকার	2~10μm
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	99.99995%
তাপ ক্ষমতা	640 J·kg^-1· কে^-1
পরমানন্দ তাপমাত্রা	2700℃
নমনীয় শক্তি	415 MPa RT 4-পয়েন্ট
ইয়ং এর মডুলাস	430 Gpa 4pt বাঁক, 1300℃
তাপ পরিবাহিতা	300W·m^-1· কে^-1
তাপীয় সম্প্রসারণ (CTE)	4.5×10^-6K^-1