LPE PE2061S এর জন্য SiC প্রলিপ্ত শীর্ষ প্লেট

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল LPE PE2061S প্রস্তুতকারক এবং চীনের উদ্ভাবকদের জন্য একটি নেতৃস্থানীয় SiC প্রলিপ্ত শীর্ষ প্লেট। আমরা বহু বছর ধরে SiC আবরণ উপাদানে বিশেষায়িত হয়েছি। আমরা LPE PE2061S-এর জন্য বিশেষভাবে LPE সিলিকন এপিটাক্সি রিঅ্যাক্টরের জন্য ডিজাইন করা একটি SiC কোটেড টপ প্লেট অফার করি। LPE PE2061S-এর জন্য এই SiC প্রলিপ্ত শীর্ষ প্লেটটি ব্যারেল সাসেপ্টরের সাথে একসাথে শীর্ষস্থানীয়। এই CVD SiC প্রলিপ্ত প্লেটটি উচ্চ বিশুদ্ধতা, চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং অভিন্নতাকে গর্বিত করে, এটিকে উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধির জন্য উপযুক্ত করে তোলে। আমাদের কারখানা পরিদর্শন করার জন্য আমরা আপনাকে স্বাগত জানাই। চীনে

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল LPE PE2061S প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারীর জন্য একটি পেশাদার চীন SiC প্রলিপ্ত শীর্ষ প্লেট।

সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সরঞ্জামগুলিতে LPE PE2061S-এর জন্য VeTeK সেমিকন্ডাক্টর SiC প্রলিপ্ত শীর্ষ প্লেট, এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন এপিটাক্সিয়াল ওয়েফার (বা সাবস্ট্রেট) সমর্থন ও ধরে রাখতে ব্যারেল টাইপ বডি সাসেপ্টরের সাথে ব্যবহার করা হয়।

LPE PE2061S-এর জন্য SiC প্রলিপ্ত শীর্ষ প্লেট সাধারণত উচ্চ-তাপমাত্রার স্থিতিশীল গ্রাফাইট উপাদান দিয়ে তৈরি। VeTek সেমিকন্ডাক্টর সাবধানে সিলিকন কার্বাইড আবরণের সাথে একটি শক্তিশালী বন্ধন নিশ্চিত করে সবচেয়ে উপযুক্ত গ্রাফাইট উপাদান নির্বাচন করার সময় তাপ সম্প্রসারণ সহগ-এর মতো বিষয়গুলিকে সাবধানে বিবেচনা করে।

এলপিই PE2061S-এর জন্য SiC প্রলিপ্ত শীর্ষ প্লেট এপিটাক্সি বৃদ্ধির সময় উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশ সহ্য করার জন্য চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের প্রদর্শন করে। এটি দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতা, নির্ভরযোগ্যতা এবং ওয়েফারগুলির সুরক্ষা নিশ্চিত করে।

সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সরঞ্জামগুলিতে, পুরো CVD SiC প্রলিপ্ত চুল্লির প্রাথমিক কাজ হল ওয়েফারগুলিকে সমর্থন করা এবং এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির বৃদ্ধির জন্য একটি অভিন্ন সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠ সরবরাহ করা। অতিরিক্তভাবে, এটি ওয়েফারগুলির অবস্থান এবং অভিযোজনে সামঞ্জস্য করার অনুমতি দেয়, বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন তাপমাত্রা এবং তরল গতিবিদ্যার উপর নিয়ন্ত্রণ সহজতর করে পছন্দসই বৃদ্ধির অবস্থা এবং এপিটাক্সিয়াল স্তরের বৈশিষ্ট্যগুলি অর্জন করতে।

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের পণ্য উচ্চ নির্ভুলতা এবং অভিন্ন আবরণ বেধ অফার করে। একটি বাফার স্তর অন্তর্ভুক্ত করা পণ্যের জীবনকালকেও প্রসারিত করে। সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সরঞ্জামে, এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন এপিটাক্সিয়াল ওয়েফার (বা সাবস্ট্রেট) সমর্থন ও ধরে রাখতে ব্যারেল-টাইপ বডি সাসেপ্টরের সাথে একত্রে ব্যবহৃত হয়।

SEM data and structure of CVD SIC films

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য:

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি	সাধারণ মান
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার	FCC β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, প্রধানত (111) ভিত্তিক
ঘনত্ব	3.21 গ্রাম/সেমি³
কঠোরতা	2500 ভিকার কঠোরতা (500 গ্রাম লোড)
শস্যের আকার	2~10μm
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	99.99995%
তাপ ক্ষমতা	640 J·kg-1·K-1
পরমানন্দ তাপমাত্রা	2700℃
নমনীয় শক্তি	415 MPa RT 4-পয়েন্ট
ইয়ং এর মডুলাস	430 Gpa 4pt বাঁক, 1300℃
তাপ পরিবাহিতা	300W·m-1·K-1
তাপীয় সম্প্রসারণ (CTE)	4.5×10-6K-1