CVD SiC আবরণ অগ্রভাগ

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের CVD SiC লেপ নজলগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের সময় সিলিকন কার্বাইড সামগ্রী জমা করার জন্য LPE SiC এপিটাক্সি প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। কঠোর প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশে স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে এই অগ্রভাগগুলি সাধারণত উচ্চ-তাপমাত্রা এবং রাসায়নিকভাবে স্থিতিশীল সিলিকন কার্বাইড উপাদান দিয়ে তৈরি। ইউনিফর্ম ডিপোজিশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, তারা সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনে উত্থিত এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির গুণমান এবং অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণে একটি মূল ভূমিকা পালন করে। আপনার সাথে দীর্ঘমেয়াদী সহযোগিতা স্থাপনের জন্য উন্মুখ।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল এপিটাক্সিয়াল ডিভাইসগুলির জন্য CVD SiC কোটিং আনুষাঙ্গিকগুলির একটি বিশেষ প্রস্তুতকারক যেমন CVD SiC কোটিং হাফমুন যন্ত্রাংশ এবং এর আনুষঙ্গিক CVD SiC কোটিং নোজেল৷ আমাদের জিজ্ঞাসা করতে স্বাগতম৷

PE1O8 হল একটি সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় কার্তুজ থেকে কার্টিজ সিস্টেম যা 200mm পর্যন্ত SiC ওয়েফার পরিচালনা করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। বিন্যাসটি 150 এবং 200 মিমি এর মধ্যে স্যুইচ করা যেতে পারে, টুল ডাউনটাইম কমিয়ে। গরম করার পর্যায়গুলির হ্রাস উত্পাদনশীলতা বাড়ায়, যখন অটোমেশন শ্রম হ্রাস করে এবং গুণমান এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা উন্নত করে। একটি দক্ষ এবং খরচ-প্রতিযোগিতামূলক এপিটাক্সি প্রক্রিয়া নিশ্চিত করার জন্য, তিনটি প্রধান কারণের রিপোর্ট করা হয়েছে: 1) দ্রুত প্রক্রিয়া, 2) পুরুত্ব এবং ডোপিংয়ের উচ্চ অভিন্নতা, এবং 3) এপিটাক্সি প্রক্রিয়া চলাকালীন ত্রুটি গঠনের হ্রাস। PE1O8-এ, ছোট গ্রাফাইট ভর এবং স্বয়ংক্রিয় লোড/আনলোড সিস্টেম 75 মিনিটেরও কম সময়ে একটি স্ট্যান্ডার্ড রান সম্পন্ন করতে দেয় (স্ট্যান্ডার্ড 10μm Schottky ডায়োড ফর্মুলেশন 30μm/h বৃদ্ধির হার ব্যবহার করে)। স্বয়ংক্রিয় সিস্টেম উচ্চ তাপমাত্রায় লোড/আনলোড করার অনুমতি দেয়। ফলস্বরূপ, গরম এবং শীতল করার সময় কম, যখন বেকিং ধাপ বাধাগ্রস্ত হয়েছে। এই আদর্শ অবস্থা সত্য undoped উপকরণ বৃদ্ধির অনুমতি দেয়.

সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সির প্রক্রিয়ায়, CVD SiC আবরণ অগ্রভাগগুলি এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির বৃদ্ধি এবং গুণমানে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এখানে সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সিতে অগ্রভাগের ভূমিকার প্রসারিত ব্যাখ্যা রয়েছে:

গ্যাস সরবরাহ এবং নিয়ন্ত্রণ: সিলিকন উত্স গ্যাস এবং কার্বন উত্স গ্যাস সহ এপিটাক্সির সময় প্রয়োজনীয় গ্যাস মিশ্রণ সরবরাহ করতে অগ্রভাগ ব্যবহার করা হয়। অগ্রভাগের মাধ্যমে, এপিটাক্সিয়াল স্তরের অভিন্ন বৃদ্ধি এবং পছন্দসই রাসায়নিক সংমিশ্রণ নিশ্চিত করতে গ্যাস প্রবাহ এবং অনুপাতগুলি সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে।

তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ: অগ্রভাগগুলি এপিটাক্সি চুল্লির মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে সহায়তা করে। সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সিতে, তাপমাত্রা একটি গুরুত্বপূর্ণ কারণ যা বৃদ্ধির হার এবং স্ফটিক গুণমানকে প্রভাবিত করে। অগ্রভাগের মাধ্যমে তাপ বা শীতল গ্যাস সরবরাহ করে, এপিটাক্সিয়াল স্তরের বৃদ্ধির তাপমাত্রা সর্বোত্তম বৃদ্ধির অবস্থার জন্য সামঞ্জস্য করা যেতে পারে।

গ্যাস প্রবাহ বিতরণ: অগ্রভাগের নকশা চুল্লির মধ্যে গ্যাসের অভিন্ন বিতরণকে প্রভাবিত করে। অভিন্ন গ্যাস প্রবাহ বন্টন এপিটাক্সিয়াল স্তরের অভিন্নতা এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ বেধ নিশ্চিত করে, উপাদান মানের অ-অভিন্নতা সম্পর্কিত সমস্যাগুলি এড়িয়ে যায়।

অপবিত্রতা দূষণ প্রতিরোধ: সঠিক নকশা এবং অগ্রভাগের ব্যবহার এপিটাক্সি প্রক্রিয়া চলাকালীন অপবিত্রতা দূষণ প্রতিরোধ করতে সাহায্য করতে পারে। উপযুক্ত অগ্রভাগের নকশা চুল্লিতে বাহ্যিক অমেধ্য প্রবেশের সম্ভাবনা কমিয়ে দেয়, এপিটাক্সিয়াল স্তরের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান নিশ্চিত করে।

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য:

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি	স্বাভাবিক মূল্য
স্ফটিক গঠন	FCC β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, প্রধানত (111) ভিত্তিক
ঘনত্ব	3.21 গ্রাম/সেমি³
কঠোরতা	2500 ভিকার কঠোরতা (500 গ্রাম লোড)
দ্রব্যের আকার	2~10μm
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	99.99995%
তাপ ধারনক্ষমতা	640 J·kg-1·K-1
পরমানন্দ তাপমাত্রা	2700℃
নমনীয় শক্তি	415 MPa RT 4-পয়েন্ট
ইয়ং এর মডুলাস	430 Gpa 4pt বাঁক, 1300℃
তাপ পরিবাহিতা	300W·m-1·K-1
তাপীয় সম্প্রসারণ (CTE)	4.5×10-6K-1