ইপিআই প্রাপক

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের ইপিআই সাসেপ্টরটি চাহিদাপূর্ণ এপিটাক্সিয়াল সরঞ্জাম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এর উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড (SiC) প্রলিপ্ত গ্রাফাইট কাঠামো চমৎকার তাপ প্রতিরোধের, সামঞ্জস্যপূর্ণ এপিটাক্সিয়াল স্তরের বেধ এবং প্রতিরোধের জন্য অভিন্ন তাপীয় অভিন্নতা এবং দীর্ঘস্থায়ী রাসায়নিক প্রতিরোধের প্রস্তাব দেয়। আমরা আপনার সাথে সহযোগিতা করার জন্য উন্মুখ.

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

VeTek সেমিকন্ডাক্টর একটি পেশাদার নেতা চীন EPI রিসিভার, ALD প্ল্যানেটারি রিসিভার এবং TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট রিসিভার প্রস্তুতকারক। এবং আমাদের ইপিআই সাসেপ্টর একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদানএপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধিঅর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়ার মধ্যে. এর প্রধান কাজ হল ওয়েফারকে সমর্থন করা এবং গরম করা যাতে একটি উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল স্তর ওয়েফার পৃষ্ঠে সমানভাবে জন্মাতে পারে।

VeTek সেমিকন্ডাক্টরস' EPI সাসেপ্টর সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট দিয়ে তৈরি এবং সিলিকন কার্বাইড (SiC) এর একটি স্তর দিয়ে লেপা।এই নকশা নিম্নলিখিত মূল সুবিধা আছে:

● উচ্চ তাপমাত্রা স্থায়িত্ব: EPI সাসেপ্টর উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে স্থিতিশীল থাকতে পারে, এপিটাক্সিয়াল স্তরের অভিন্ন বৃদ্ধি নিশ্চিত করে।

● জারা প্রতিরোধের: SiC আবরণ চমৎকার জারা প্রতিরোধের আছে এবং রাসায়নিক গ্যাসের ক্ষয় প্রতিরোধ করতে পারে, ট্রে এর সেবা জীবন প্রসারিত.

● তাপ পরিবাহিতা: SiC উপাদানের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা গরম করার সময় ওয়েফারের অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন নিশ্চিত করে, যার ফলে এপিটাক্সিয়াল স্তরের গুণমান উন্নত হয়।

● তাপ সম্প্রসারণ সহগ মিল: SiC-এর তাপীয় সম্প্রসারণ সহগ গ্রাফাইটের অনুরূপ, তাপীয় সম্প্রসারণ এবং সংকোচনের কারণে আবরণ শেডিং সমস্যা এড়ায়।