অর্ধপরিবাহী তাপ স্প্রে প্রযুক্তি

সেমিকন্ডাক্টর থার্মাল স্প্রে করার প্রযুক্তি হল একটি উন্নত প্রক্রিয়া যা একটি গলিত বা আধা-গলিত অবস্থায় একটি আবরণ তৈরি করার জন্য একটি স্তরের পৃষ্ঠের উপর পদার্থ স্প্রে করে। এই প্রযুক্তিটি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, প্রধানত স্তরের পৃষ্ঠে নির্দিষ্ট ফাংশন যেমন পরিবাহিতা, নিরোধক, জারা প্রতিরোধ এবং অক্সিডেশন প্রতিরোধের মতো আবরণ তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়। তাপ স্প্রে প্রযুক্তির প্রধান সুবিধাগুলির মধ্যে রয়েছে উচ্চ দক্ষতা, নিয়ন্ত্রণযোগ্য আবরণের বেধ এবং ভাল আবরণ আনুগত্য, এটি অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ করে তোলে যার জন্য উচ্চ নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রয়োজন।

সেমিকন্ডাক্টরগুলিতে তাপ স্প্রে প্রযুক্তির প্রয়োগ

প্লাজমা বিম এচিং (ড্রাই এচিং)

সাধারণত প্লাজমা এবং ইলেকট্রন এবং অত্যন্ত রাসায়নিকভাবে সক্রিয় নিরপেক্ষ পরমাণু এবং অণু এবং মুক্ত র্যাডিকেলের মতো চার্জযুক্ত কণাযুক্ত প্লাজমা সক্রিয় কণা তৈরি করতে গ্লো ডিসচার্জের ব্যবহার বোঝায়, যা খোদাই করা অংশে ছড়িয়ে পড়ে, খোদাই করা উপাদানের সাথে প্রতিক্রিয়া করে, উদ্বায়ী গঠন করে। পণ্য এবং অপসারণ করা হয়, যার ফলে প্যাটার্ন স্থানান্তরের এচিং প্রযুক্তি সম্পন্ন হয়। অতি-বড়-স্কেল ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট তৈরিতে ফটোলিথোগ্রাফি টেমপ্লেট থেকে ওয়েফারগুলিতে সূক্ষ্ম প্যাটার্নগুলির উচ্চ-বিশ্বস্ততার স্থানান্তর উপলব্ধি করার জন্য এটি একটি অপরিবর্তনীয় প্রক্রিয়া।

প্রচুর পরিমাণে সক্রিয় ফ্রি র্যাডিকেল যেমন Cl এবং F তৈরি হবে। যখন তারা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস খোদাই করে, তখন তারা অ্যালুমিনিয়াম অ্যালো এবং সিরামিক স্ট্রাকচারাল অংশ সহ যন্ত্রপাতির অন্যান্য অংশের অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠগুলিকে ক্ষয় করে। এই শক্তিশালী ক্ষয় প্রচুর পরিমাণে কণা তৈরি করে, যার জন্য কেবল উত্পাদন সরঞ্জামগুলির ঘন ঘন রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজন হয় না, তবে এটি ইচিং প্রক্রিয়া চেম্বারের ব্যর্থতা এবং গুরুতর ক্ষেত্রে ডিভাইসের ক্ষতির কারণ হয়।

Y2O3 খুবই স্থিতিশীল রাসায়নিক এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্য সহ একটি উপাদান। এর গলনাঙ্ক 2400℃ এর উপরে। এটি একটি শক্তিশালী ক্ষয়কারী পরিবেশে স্থিতিশীল থাকতে পারে। প্লাজমা বোমাবর্ষণের প্রতিরোধের ফলে উপাদানগুলির পরিষেবা জীবনকে ব্যাপকভাবে প্রসারিত করতে পারে এবং এচিং চেম্বারে কণা কমাতে পারে।

মূলধারার সমাধান হল এচিং চেম্বার এবং অন্যান্য মূল উপাদানগুলিকে রক্ষা করার জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা Y2O3 আবরণ স্প্রে করা।