সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণ গ্রাফাইট হিটার

VeTek সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটারসিলিকন কার্বন সিরামিক আবরণের উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, জারা প্রতিরোধ এবং পরিধান প্রতিরোধের সাথে গ্রাফাইটের চমৎকার বৈদ্যুতিক এবং তাপ পরিবাহিতাকে একত্রিত করে এবং কঠোর অর্ধপরিবাহী উত্পাদন পরিবেশের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। 

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটারপ্রধানত ভ্যাকুয়াম আবরণ (বাষ্পীভবন) সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয় এবং সাধারণত ব্যবহৃত পদ্ধতিগুলি হল PCD (প্লাজমা রাসায়নিক শুকানো) এবং PVD (শারীরিক বাষ্প জমা)। এই পণ্যটি প্রযুক্তিগত অগ্রগতি প্রচারে এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে উত্পাদন দক্ষতার উন্নতিতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করেছে।আমরা আন্তরিকভাবে আপনার সাথে আরও সহযোগিতার জন্য উন্মুখ.

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটারের উপাদান এবং কাঠামোগত বৈশিষ্ট্যগুলি নিম্নরূপ:

গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট: গ্রাফাইট তার উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ জন্য পরিচিত। এটি তাপমাত্রা পরিবর্তনে দ্রুত সাড়া দিতে পারে এবং উচ্চ তাপমাত্রায় কাঠামোগত স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে।

সিলিকন কার্বন সিরামিক আবরণ: SiC আবরণ রাসায়নিক বাষ্প জমা বা অন্যান্য উন্নত প্রক্রিয়ার মাধ্যমে গ্রাফাইট পৃষ্ঠের উপর সমানভাবে প্রলিপ্ত হয়। SiC-এর অত্যন্ত উচ্চ কঠোরতা এবং রাসায়নিক জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে, যা উচ্চ-তাপমাত্রা জারণ এবং ক্ষয়কারী পরিবেশ থেকে গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটকে রক্ষা করতে পারে।

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটারের বিশেষ পণ্য কাঠামোগত নকশা নির্ধারণ করেঅর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়ায় এই পণ্যটির অপরিবর্তনীয় পণ্য সুবিধা:

দক্ষ এবং অভিন্ন গরম:

তাপ পরিবাহিতা: গ্রাফাইটের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা হিটারকে দ্রুত পৌঁছাতে এবং প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা বজায় রাখতে সক্ষম করে এবং SiC আবরণ তাপের অভিন্ন বন্টন নিশ্চিত করে। এটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির জন্য বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ যেগুলির জন্য সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন, যেমন দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ (RTP) এবং রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD)।

তাপমাত্রা অভিন্নতা: অভিন্ন তাপ বিতরণের মাধ্যমে, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটার কার্যকরভাবে তাপীয় চাপ এবং তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট কমাতে পারে, যা গরম করার প্রক্রিয়া জুড়ে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের সামঞ্জস্য এবং মানের স্থায়িত্ব নিশ্চিত করে।

বিরোধী জারা সুরক্ষা:

রাসায়নিক প্রতিরোধের: SiC আবরণের রাসায়নিক ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা হিটারকে ক্ষয়কারী গ্যাস এবং রাসায়নিক পরিবেশে স্থিরভাবে এবং দীর্ঘ সময়ের জন্য কাজ করতে সক্ষম করে, গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের ক্ষতি এড়াতে। রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) এবং প্লাজমা বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমা (PECVD) এর মতো প্রক্রিয়াগুলিতে এই বৈশিষ্ট্যটি বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ।

অক্সিডেশন প্রতিরোধের: উচ্চ তাপমাত্রায়, SiC আবরণ গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের অক্সিডেশন প্রতিরোধ করতে পারে, হিটারের পরিষেবা জীবন প্রসারিত করতে পারে এবং সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণের ফ্রিকোয়েন্সি এবং খরচ কমাতে পারে।

কণা দূষণ হ্রাস:

পৃষ্ঠের স্থায়িত্ব: SiC আবরণ শুধুমাত্র পরিধান-প্রতিরোধী নয়, তাপীয় সাইক্লিং বা রাসায়নিক বিক্রিয়ার কারণে কণাগুলিকে উপাদান পৃষ্ঠ থেকে পড়ে যাওয়া থেকেও বাধা দেয়, যার ফলে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের সময় ঘটতে পারে এমন কণা দূষণের ঝুঁকি হ্রাস করে এবং একটি উচ্চ-পরিচ্ছন্নতা প্রক্রিয়া পরিবেশ নিশ্চিত করে।

প্রক্রিয়ার নির্ভরযোগ্যতা এবং দক্ষতা উন্নত করুন:

দীর্ঘ জীবন নকশা: গ্রাফাইটের যান্ত্রিক শক্তি এবং SiC আবরণের পরিধান প্রতিরোধের সংমিশ্রণের কারণে, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটার কঠোর প্রক্রিয়া অবস্থার অধীনে দীর্ঘ সময়ের জন্য উচ্চ-দক্ষতা বজায় রাখতে পারে, উল্লেখযোগ্যভাবে সরঞ্জামের সামগ্রিক নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করে।

দক্ষ শক্তি ব্যবহার: গ্রাফাইটের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং SiC আবরণের উচ্চ-তাপমাত্রার স্থায়িত্ব হিটারকে শক্তি খরচ কমাতে সক্ষম করে যখন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা উন্নত করে, যার ফলে সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের সামগ্রিক দক্ষতা উন্নত হয়।

এর মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্যসিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটার:

VeTek সেমিকন্ডাক্টরসিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ গ্রাফাইট হিটারদোকান:

সেমিকন্ডাক্টর চিপ এপিটাক্সি ইন্ডাস্ট্রি চেইনের ওভারভিউ:

/অন্যান্য-প্রক্রিয়া