সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটার

VeTek সেমিকন্ডাক্টর চীনের একটি পেশাদার সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটার প্রস্তুতকারক। সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটার প্রধানত উচ্চ তাপমাত্রা এবং অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের কঠোর পরিবেশের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এর অতি-উচ্চ গলনাঙ্ক, চমৎকার জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং অসামান্য তাপ পরিবাহিতা অর্ধপরিবাহী উৎপাদন প্রক্রিয়ায় এই পণ্যটির অপরিহার্যতা নির্ধারণ করে। আমরা আন্তরিকভাবে আপনার সাথে একটি দীর্ঘমেয়াদী ব্যবসায়িক সম্পর্ক স্থাপনের আশা করি।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

VeTek সেমিকন্ডাক্টরসিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটার উচ্চ তাপমাত্রা এবং কঠোর পরিবেশের জন্য ডিজাইন করা একটি হিটার। এটি উত্তাপের উপাদানের পৃষ্ঠে সিলিকন কার্বন সিরামিক আবরণ (SiC) এর একটি স্তর আবরণ করে যাতে সরঞ্জামগুলিকে চমৎকার তাপ প্রতিরোধের, ক্ষয় প্রতিরোধের এবং তাপ পরিবাহিতা দেয়।

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটারপ্রধানত ভ্যাকুয়াম আবরণ (বাষ্পীভবন) সরঞ্জাম ব্যবহার করা হয়. সাধারণত ব্যবহৃত পদ্ধতিগুলি হল পিসিডি (প্লাজমা রাসায়নিক শুকানো) এবং পিভিডি (ভৌত বাষ্প জমা), যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন এবং অন্যান্য উচ্চ-চাহিদা শিল্প অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটারের উচ্চ-কর্মক্ষমতা লেপ নকশার সাথে মিলিত,এটি উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াগুলির জন্য একটি চমৎকার গরম করার সমাধান প্রদান করতে পারে.

চমৎকার তাপ পরিবাহিতা: SiC উপাদান চমৎকার তাপ পরিবাহিতা আছে, নিশ্চিত করে যে হিটার কাজ এলাকায় অভিন্ন তাপ বন্টন অর্জন করতে পারে এবং তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট কমাতে পারে।

অভিন্ন তাপ বিতরণ প্রদান: সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটারটি উত্তাপের এলাকা জুড়ে অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন অর্জন করতে SiC উপাদানের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা ব্যবহার করে। বিভিন্ন উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া যেমন দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ (RTP), প্রসারণ এবং অক্সিডেশন, স্থানীয় অতিরিক্ত গরম বা অসম তাপমাত্রার কারণে পণ্যের ত্রুটিগুলি এড়ানোর মতো অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলির অভিন্ন তাপ চিকিত্সা নিশ্চিত করার জন্য এটি গুরুত্বপূর্ণ।

উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা: SiC আবরণ হিটারকে অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে সক্ষম করে, সাধারণত 1600°C পর্যন্ত, বিভিন্ন উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত।

তাপ প্রতিরোধের উন্নতি করুন: যেহেতু আবরণ অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে, এটি দীর্ঘমেয়াদী উচ্চ-তাপমাত্রা অপারেশন প্রয়োজন এমন প্রক্রিয়াগুলিতে ভাল সঞ্চালন করে। উদাহরণস্বরূপ, রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়াগুলিতে, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটার উচ্চ তাপমাত্রায় সরঞ্জামগুলির দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীল অপারেশন নিশ্চিত করতে পারে এবং ধারাবাহিক গরম করার কার্যকারিতা বজায় রাখতে পারে, যার ফলে প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং নির্ভরযোগ্যতা উন্নত হয়।

রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের: SiC আবরণে অ্যাসিড, ক্ষার এবং ক্ষয়কারী গ্যাসের অত্যন্ত উচ্চ প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে এবং একটি জটিল রাসায়নিক বায়ুমণ্ডল পরিবেশে দীর্ঘ সময়ের জন্য স্থিতিশীল থাকতে পারে, যা সরঞ্জামের আয়ু বাড়ায়।

সরঞ্জামের আয়ু বাড়ানো: SiC আবরণ চমৎকার অক্সিডেশন প্রতিরোধের এবং জারা প্রতিরোধের আছে, এবং কার্যকরভাবে উচ্চ তাপমাত্রায় রাসায়নিক ক্ষয় এবং অক্সিডেশন প্রতিরোধ করতে পারেন. অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়ায় এটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, বিশেষ করে এমন পরিবেশে যা ক্ষয়কারী গ্যাস এবং রাসায়নিকগুলি পরিচালনা করে। আবরণের প্রতিরক্ষামূলক প্রভাব হিটারের পরিষেবা জীবনকে উল্লেখযোগ্যভাবে প্রসারিত করতে পারে এবং সরঞ্জাম প্রতিস্থাপন এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচের ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করতে পারে।

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণ হিটার মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য: