> পণ্য > সিলিকন কার্বাইড আবরণ > সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সি

পণ্য

নতুন পণ্য

চীন সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সি প্রস্তুতকারক, সরবরাহকারী, কারখানা

উচ্চ-মানের সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সির প্রস্তুতি উন্নত প্রযুক্তি এবং সরঞ্জাম এবং সরঞ্জাম আনুষাঙ্গিক উপর নির্ভর করে। বর্তমানে, সর্বাধিক ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সি বৃদ্ধির পদ্ধতি হল রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি)। এটিতে এপিটাক্সিয়াল ফিল্ম বেধ এবং ডোপিং ঘনত্ব, কম ত্রুটি, মাঝারি বৃদ্ধির হার, স্বয়ংক্রিয় প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ ইত্যাদির সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের সুবিধা রয়েছে এবং এটি একটি নির্ভরযোগ্য প্রযুক্তি যা সফলভাবে বাণিজ্যিকভাবে প্রয়োগ করা হয়েছে।

সিলিকন কার্বাইড CVD এপিটাক্সি সাধারণত গরম প্রাচীর বা উষ্ণ প্রাচীর CVD সরঞ্জাম গ্রহণ করে, যা উচ্চ বৃদ্ধির তাপমাত্রার অবস্থার (1500 ~ 1700 ℃), গরম প্রাচীর বা উষ্ণ প্রাচীর CVD উন্নয়নের কয়েক বছর পরে এপিটাক্সি স্তর 4H স্ফটিক SiC এর ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে। খাঁড়ি বায়ু প্রবাহ দিক এবং সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের মধ্যে সম্পর্ক, প্রতিক্রিয়া চেম্বার অনুভূমিক গঠন চুল্লি এবং উল্লম্ব কাঠামো চুল্লিতে ভাগ করা যেতে পারে।

এসআইসি এপিটাক্সিয়াল ফার্নেসের গুণমানের জন্য তিনটি প্রধান সূচক রয়েছে, প্রথমটি হল এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির কর্মক্ষমতা, যার মধ্যে পুরুত্বের অভিন্নতা, ডোপিং অভিন্নতা, ত্রুটির হার এবং বৃদ্ধির হার; দ্বিতীয়টি হ'ল সরঞ্জামের তাপমাত্রার কার্যকারিতা, যার মধ্যে গরম/ঠাণ্ডার হার, সর্বোচ্চ তাপমাত্রা, তাপমাত্রার অভিন্নতা রয়েছে; অবশেষে, একটি একক ইউনিটের দাম এবং ক্ষমতা সহ সরঞ্জাম নিজেই খরচ কর্মক্ষমতা.

তিন ধরনের সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ ফার্নেস এবং মূল আনুষাঙ্গিক পার্থক্য

হট ওয়াল হরিজন্টাল সিভিডি (এলপিই কোম্পানির সাধারণ মডেল PE1O6), উষ্ণ প্রাচীর গ্রহের সিভিডি (সাধারণ মডেল Aixtron G5WWC/G10) এবং কোয়াসি-হট ওয়াল সিভিডি (Nuflare কোম্পানির EPIREVOS6 দ্বারা প্রতিনিধিত্ব করা) হল মূলধারার এপিটাক্সিয়াল সরঞ্জাম প্রযুক্তিগত সমাধান যা বাস্তবসম্মত হয়েছে। এই পর্যায়ে বাণিজ্যিক অ্যাপ্লিকেশনে. তিনটি প্রযুক্তিগত ডিভাইসের নিজস্ব বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং চাহিদা অনুযায়ী নির্বাচন করা যেতে পারে। তাদের গঠন নিম্নরূপ দেখানো হয়:

সংশ্লিষ্ট মূল উপাদানগুলি নিম্নরূপ:

(a) গরম প্রাচীর অনুভূমিক টাইপ কোর অংশ- হাফমুন পার্টস নিয়ে গঠিত

ডাউনস্ট্রিম নিরোধক

প্রধান অন্তরণ উপরের

উপরের অর্ধচন্দ্র

আপস্ট্রিম অন্তরণ

ট্রানজিশন টুকরা 2

রূপান্তর টুকরা 1

বাহ্যিক বায়ু অগ্রভাগ

টেপারড স্নরকেল

বাইরের আর্গন গ্যাস অগ্রভাগ

আর্গন গ্যাস অগ্রভাগ

ওয়েফার সাপোর্ট প্লেট

সেন্টারিং পিন

কেন্দ্রীয় প্রহরী

ডাউনস্ট্রিম বাম সুরক্ষা কভার

ডাউনস্ট্রিম ডান সুরক্ষা কভার

আপস্ট্রিম বাম সুরক্ষা কভার

আপস্ট্রিম ডান সুরক্ষা কভার

পাশের দেয়াল

গ্রাফাইট রিং

প্রতিরক্ষামূলক অনুভূত

সমর্থন অনুভূত

যোগাযোগ ব্লক

গ্যাস আউটলেট সিলিন্ডার

(b) উষ্ণ প্রাচীর গ্রহের ধরন

SiC আবরণ প্ল্যানেটারি ডিস্ক &TaC প্রলিপ্ত প্ল্যানেটারি ডিস্ক

নুফ্লেয়ার (জাপান): এই কোম্পানীটি দ্বৈত-চেম্বার উল্লম্ব চুল্লি অফার করে যা উৎপাদন বৃদ্ধিতে অবদান রাখে। সরঞ্জামগুলিতে প্রতি মিনিটে 1000টি বিপ্লব পর্যন্ত উচ্চ-গতির ঘূর্ণন বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যা এপিটাক্সিয়াল অভিন্নতার জন্য অত্যন্ত উপকারী। অতিরিক্তভাবে, এর বায়ুপ্রবাহের দিকটি অন্যান্য সরঞ্জামের থেকে আলাদা, উল্লম্বভাবে নিম্নগামী, এইভাবে কণার প্রজন্মকে ন্যূনতম করে এবং কণার ফোঁটা ওয়েফারের উপর পড়ার সম্ভাবনা হ্রাস করে। আমরা এই সরঞ্জামের জন্য কোর SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট উপাদান প্রদান করি।

SiC epitaxial সরঞ্জাম উপাদানগুলির সরবরাহকারী হিসাবে, VeTek সেমিকন্ডাক্টর গ্রাহকদেরকে SiC এপিটাক্সির সফল বাস্তবায়নে সহায়তা করার জন্য উচ্চ-মানের আবরণ উপাদান সরবরাহ করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।

View as

CVD SiC আবরণ অগ্রভাগ

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের CVD SiC লেপ নজলগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের সময় সিলিকন কার্বাইড সামগ্রী জমা করার জন্য LPE SiC এপিটাক্সি প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। কঠোর প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশে স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে এই অগ্রভাগগুলি সাধারণত উচ্চ-তাপমাত্রা এবং রাসায়নিকভাবে স্থিতিশীল সিলিকন কার্বাইড উপাদান দিয়ে তৈরি। ইউনিফর্ম ডিপোজিশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, তারা সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনে উত্থিত এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির গুণমান এবং অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণে একটি মূল ভূমিকা পালন করে। আপনার সাথে দীর্ঘমেয়াদী সহযোগিতা স্থাপনের জন্য উন্মুখ।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

CVD SiC আবরণ অভিভাবক

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর সরবরাহ করে CVD SiC আবরণ রক্ষাকারী LPE SiC epitaxy ব্যবহৃত হয়, "LPE" শব্দটি সাধারণত নিম্নচাপের রাসায়নিক বাষ্প জমা (LPCVD) এ নিম্নচাপ এপিটাক্সি (LPE) বোঝায়। সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং-এ, এলপিই হল একক ক্রিস্টাল পাতলা ফিল্ম বাড়ানোর জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া প্রযুক্তি, যা প্রায়ই সিলিকন এপিটাক্সিয়াল স্তর বা অন্যান্য সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধি করতে ব্যবহৃত হয়। আরও প্রশ্নের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

SiC প্রলিপ্ত পেডেস্টাল

Vetek সেমিকন্ডাক্টর CVD SiC আবরণ, গ্রাফাইট এবং সিলিকন কার্বাইড উপাদানের উপর TaC আবরণ তৈরিতে পেশাদার। আমরা OEM এবং ODM পণ্য সরবরাহ করি যেমন SiC কোটেড পেডেস্টাল, ওয়েফার ক্যারিয়ার, ওয়েফার চক, ওয়েফার ক্যারিয়ার ট্রে, প্ল্যানেটারি ডিস্ক এবং আরও অনেক কিছু। 1000 গ্রেড ক্লিন রুম এবং বিশুদ্ধকরণ ডিভাইস সহ, আমরা আপনাকে 5ppm এর নিচে অপবিত্রতা সহ পণ্য সরবরাহ করতে পারি। শোনার জন্য উন্মুখ। শীঘ্রই আপনার কাছ থেকে।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

SiC আবরণ খাঁড়ি রিং

Vetek সেমিকন্ডাক্টর নির্দিষ্ট প্রয়োজন অনুসারে তৈরি SiC কোটিং ইনলেট রিং এর জন্য বেসপোক ডিজাইন তৈরি করতে ক্লায়েন্টদের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সহযোগিতা করার ক্ষেত্রে পারদর্শী। এই SiC আবরণ খাঁড়ি রিং CVD SiC সরঞ্জাম এবং সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সির মতো বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সতর্কতার সাথে ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে। উপযোগী SiC কোটিং ইনলেট রিং সমাধানের জন্য, ব্যক্তিগতকৃত সহায়তার জন্য ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

প্রি-হিট রিং

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের SiC আবরণ প্রস্তুতকারকের উদ্ভাবক। VeTek সেমিকন্ডাক্টর দ্বারা প্রদত্ত প্রি-হিট রিং Epitaxy প্রক্রিয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। ইউনিফর্ম সিলিকন কার্বাইড আবরণ এবং কাঁচামাল হিসাবে উচ্চ-শেষ গ্রাফাইট উপাদান ধারাবাহিক জমা নিশ্চিত করে এবং এপিটাক্সিয়াল স্তরের গুণমান এবং অভিন্নতা উন্নত করে। আমরা আপনার সাথে দীর্ঘমেয়াদী সহযোগিতা স্থাপনের জন্য উন্মুখ।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

ওয়েফার লিফট পিন

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের একটি নেতৃস্থানীয় EPI ওয়েফার লিফ্ট পিন প্রস্তুতকারক এবং উদ্ভাবক। আমরা বহু বছর ধরে গ্রাফাইটের পৃষ্ঠে SiC আবরণে বিশেষায়িত হয়েছি। আমরা ইপিআই প্রক্রিয়ার জন্য একটি ইপিআই ওয়েফার লিফট পিন অফার করি। উচ্চ মানের এবং প্রতিযোগী মূল্যের সাথে, আমরা আপনাকে চীনে আমাদের কারখানা দেখার জন্য স্বাগত জানাই।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

<1 2 3 >

চীনে একজন পেশাদার সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সি প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে, আমাদের নিজস্ব কারখানা রয়েছে। আপনার অঞ্চলের নির্দিষ্ট চাহিদা মেটাতে আপনার কাস্টমাইজড পরিষেবার প্রয়োজন হোক বা চীনে তৈরি উন্নত এবং টেকসই সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সি কিনতে চান, আপনি আমাদের একটি বার্তা দিতে পারেন।