TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) পদ্ধতি ব্যবহার করে গ্রাফাইট অংশের পৃষ্ঠে ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ প্রস্তুত করতে। এই প্রক্রিয়াটি সবচেয়ে পরিপক্ক এবং সর্বোত্তম আবরণ বৈশিষ্ট্য রয়েছে। TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর গ্রাফাইট উপাদানগুলির পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করতে পারে, গ্রাফাইটের অমেধ্যগুলির স্থানান্তরকে বাধা দিতে পারে এবং এপিটাক্সির গুণমান নিশ্চিত করতে পারে। VeTek সেমিকন্ডাক্টর আপনার তদন্তের জন্য উন্মুখ।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

সর্বশেষ বিক্রয়, কম দাম এবং উচ্চ-মানের TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর কিনতে আমাদের কারখানা VeTek সেমিকন্ডাক্টর-এ আসতে আপনাকে স্বাগত জানানো হচ্ছে। আমরা আপনার সঙ্গে সহযোগী করার জন্য উন্মুখ।

ট্যানটালাম কার্বাইড সিরামিক উপাদান গলনাঙ্ক 3880 ℃ পর্যন্ত, একটি উচ্চ গলনাঙ্ক এবং যৌগের ভাল রাসায়নিক স্থিতিশীলতা, এর উচ্চ তাপমাত্রা পরিবেশ এখনও স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা বজায় রাখতে পারে, উপরন্তু, এটি উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের, ভাল রাসায়নিক। এবং কার্বন উপাদান এবং অন্যান্য বৈশিষ্ট্যের সাথে যান্ত্রিক সামঞ্জস্য, এটি একটি আদর্শ গ্রাফাইট স্তর প্রতিরক্ষামূলক আবরণ উপাদান তৈরি করে। ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ গ্রাফাইট উপাদানগুলিকে কঠোর ব্যবহারের পরিবেশে গরম অ্যামোনিয়া, হাইড্রোজেন এবং সিলিকন বাষ্প এবং গলিত ধাতুর প্রভাব থেকে গ্রাফাইট উপাদানগুলিকে কার্যকরভাবে রক্ষা করতে পারে, গ্রাফাইট উপাদানগুলির পরিষেবা জীবন উল্লেখযোগ্যভাবে প্রসারিত করতে পারে এবং গ্রাফাইটে অমেধ্য স্থানান্তরকে বাধা দেয়, এপিটাক্সি এবং স্ফটিক বৃদ্ধির গুণমান নিশ্চিত করা। এটি প্রধানত ভিজা সিরামিক প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়।

রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) হল গ্রাফাইটের পৃষ্ঠে ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণের জন্য সবচেয়ে পরিপক্ক এবং সর্বোত্তম প্রস্তুতির পদ্ধতি।

TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টরের জন্য CVD TaC আবরণ পদ্ধতি:

আবরণ প্রক্রিয়াটি TaCl5 এবং প্রোপিলিনকে যথাক্রমে কার্বনের উৎস এবং ট্যান্টালাম উৎস হিসেবে ব্যবহার করে এবং উচ্চ তাপমাত্রার গ্যাসীকরণের পর ট্যান্টালাম পেন্টাক্লোরাইড বাষ্পকে বিক্রিয়া চেম্বারে আনার জন্য বাহক গ্যাস হিসেবে আর্গন ব্যবহার করে। লক্ষ্য তাপমাত্রা এবং চাপের অধীনে, পূর্ববর্তী উপাদানের বাষ্প গ্রাফাইট অংশের পৃষ্ঠে শোষিত হয় এবং কার্বন উত্স এবং ট্যানটালাম উত্সের পচন এবং সংমিশ্রণের মতো জটিল রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলির একটি সিরিজ ঘটে। একই সময়ে, পৃষ্ঠের প্রতিক্রিয়াগুলির একটি সিরিজ যেমন অগ্রদূতের বিচ্ছুরণ এবং উপ-পণ্যগুলির অপসারণও জড়িত। অবশেষে, গ্রাফাইট অংশের পৃষ্ঠে একটি ঘন প্রতিরক্ষামূলক স্তর গঠিত হয়, যা গ্রাফাইট অংশটিকে চরম পরিবেশগত পরিস্থিতিতে স্থিতিশীল থেকে রক্ষা করে। গ্রাফাইট উপকরণের প্রয়োগের দৃশ্য উল্লেখযোগ্যভাবে প্রসারিত হয়।

TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টরের পণ্যের প্যারামিটার:

TaC আবরণের শারীরিক বৈশিষ্ট্য
ঘনত্ব	14.3 (g/cm³)
নির্দিষ্ট নির্গততা	0.3
তাপ সম্প্রসারণ সহগ	৬.৩ ১০-৬/কে
কঠোরতা (HK)	2000 HK
প্রতিরোধ	1×10-5 ওহম*সেমি
তাপ - মাত্রা সহনশীল	<2500℃
গ্রাফাইটের আকার পরিবর্তন	-10~-20um
আবরণ বেধ	≥20um সাধারণ মান (35um±10um)