TaC আবরণ পেডেস্টাল সমর্থন প্লেট

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীন প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী যারা প্রধানত CVD TaC লেপ সাসেপ্টর, ইনলেট রিং, Wafer Chunck, TaC প্রলিপ্ত ধারক, TaC আবরণ পেডেস্টাল সাপোর্ট প্লেট তৈরি করে বহু বছরের অভিজ্ঞতার সাথে। আপনার সাথে ব্যবসায়িক সম্পর্ক গড়ে তোলার আশা করি।

TaC সিরামিকের গলনাঙ্ক 3880℃ পর্যন্ত, উচ্চ কঠোরতা (Mohs কঠোরতা 9 ~ 10), বড় তাপ পরিবাহিতা (22W·m-1·K−1), বড় নমন শক্তি (340 ~ 400MPa), এবং ছোট তাপীয় প্রসারণ সহগ (6.6×10−6K−1), এবং চমৎকার থার্মোকেমিক্যাল স্থিতিশীলতা এবং চমৎকার শারীরিক বৈশিষ্ট্য দেখায়। এটির গ্রাফাইট এবং C/C যৌগিক পদার্থের সাথে ভাল রাসায়নিক এবং যান্ত্রিক সামঞ্জস্য রয়েছে, তাই TaC আবরণ ব্যাপকভাবে মহাকাশ তাপ সুরক্ষা, একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধি এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে Aixtron, LPE EPI চুল্লির মতো এপিটাক্সিয়াল চুল্লিতে ব্যবহৃত হয়। TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইটের বেয়ার স্টোন ইঙ্ক বা SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইটের চেয়ে ভাল রাসায়নিক জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে, 2200° উচ্চ তাপমাত্রায় স্থিরভাবে ব্যবহার করা যেতে পারে, অনেক ধাতব উপাদানের সাথে প্রতিক্রিয়া দেখায় না, এটি সেমিকন্ডাক্টর একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধির তৃতীয় প্রজন্ম, এপিটাক্সি এবং ওয়েফার এচিং দৃশ্য। সেরা কর্মক্ষমতা আবরণ, উল্লেখযোগ্যভাবে তাপমাত্রা এবং অপবিত্রতা নিয়ন্ত্রণ প্রক্রিয়া উন্নত করতে পারে, উচ্চ মানের সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার এবং সম্পর্কিত এপিটাক্সিয়াল ওয়েফারের প্রস্তুতি। এটি MOCVD সরঞ্জামগুলিতে GaN বা AlN একক ক্রিস্টাল এবং PVT সরঞ্জামগুলিতে SiC একক ক্রিস্টাল বাড়ানোর জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত এবং একক ক্রিস্টালের গুণমান অবশ্যই উন্নত হয়েছে৷

TaC আবরণ এবং SiC আবরণ খুচরা যন্ত্রাংশ আমরা করতে পারি:

TaC আবরণের পরামিতি:

শিল্প চেইন:

উৎপাদনের দোকান