TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর

VeTek সেমিকন্ডাক্টর TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ওয়েফার পরিচালনার জন্য একটি মূল উপাদান। এরTaC কোংআমাদেরচমৎকার উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা (3880 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড পর্যন্ত গলনাঙ্ক), রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং জারা প্রতিরোধের, যা ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে উচ্চ নির্ভুলতা এবং উচ্চ গুণমান নিশ্চিত করে।

TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর (ট্যান্টালম কার্বন আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর) সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত একটি প্রধান সরঞ্জাম উপাদান। এটি সাধারণত ইনস্টল করা হয়রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD)এবং আণবিক মরীচি এপিটাক্সি (MBE) সরঞ্জামগুলিকে সমর্থন এবং ওয়েফারগুলিকে ঘোরানোর জন্য অভিন্ন উপাদান জমা এবং কার্যকর প্রতিক্রিয়া নিশ্চিত করতে। এই ধরনের পণ্য উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশে সাবস্ট্রেটের সাথে প্রলেপ দিয়ে সরঞ্জামের পরিষেবা জীবন এবং কার্যকারিতা উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করে।ট্যানটালাম কার্বন (TaC) আবরণ.

TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর সাধারণত TaC আবরণ এবং গ্রাফাইট বা সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেট উপাদান হিসাবে গঠিত হয়। TaC একটি অতি-উচ্চ তাপমাত্রার সিরামিক উপাদান যার অত্যন্ত উচ্চ গলনাঙ্ক (3880°C পর্যন্ত গলনাঙ্ক), কঠোরতা (Vickers কঠোরতা প্রায় 2000 HK) এবং চমৎকার রাসায়নিক জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা। VeTek সেমিকন্ডাক্টর কার্যকরভাবে এবং সমানভাবে CVD প্রযুক্তির মাধ্যমে সাবস্ট্রেট উপাদানে ট্যানটালাম কার্বন আবরণ আবরণ করতে পারে।

ঘূর্ণন সাসেপ্টর সাধারণত উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং উচ্চ শক্তি উপাদান (গ্রাফাইট বাসিলিকন কার্বাইড), যা উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে ভাল যান্ত্রিক সমর্থন এবং তাপ স্থিতিশীলতা প্রদান করতে পারে। দুটির নিখুঁত সমন্বয় সাপোর্টিং এবং ঘূর্ণন ওয়েফারগুলিতে TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টরের নিখুঁত কর্মক্ষমতা নির্ধারণ করে।

TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর সমর্থন করে এবং CVD প্রক্রিয়ায় ওয়েফার ঘোরান। TaC-এর Vickers কঠোরতা প্রায় 2000 HK, যা এটি উপাদানের বারবার ঘর্ষণ প্রতিরোধ করতে এবং একটি ভাল সহায়ক ভূমিকা পালন করতে সক্ষম করে, যার ফলে প্রতিক্রিয়া গ্যাস ওয়েফার পৃষ্ঠে সমানভাবে বিতরণ করা হয় এবং উপাদানটি সমানভাবে জমা হয় তা নিশ্চিত করে। একই সময়ে, TaC আবরণের উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা এটিকে উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী বায়ুমণ্ডলে দীর্ঘ সময়ের জন্য ব্যবহার করতে সক্ষম করে, যা কার্যকরভাবে ওয়েফার এবং ক্যারিয়ারের দূষণ এড়ায়।

অধিকন্তু, TaC-এর তাপ পরিবাহিতা হল 21 W/m·K, যা ভাল তাপ স্থানান্তর করে। অতএব, TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর উচ্চ তাপমাত্রার পরিস্থিতিতে ওয়েফারকে সমানভাবে গরম করতে পারে এবং ঘূর্ণন গতির মাধ্যমে গ্যাস জমা প্রক্রিয়ার অভিন্নতা নিশ্চিত করতে পারে, যার ফলে এর সামঞ্জস্য এবং উচ্চ গুণমান বজায় থাকে।ওয়েফার বৃদ্ধি.

একটি মাইক্রোস্কোপিক ক্রস-সেকশনে ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ：

TaC আবরণের শারীরিক বৈশিষ্ট্য：

TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টর দোকান: