ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ সমর্থন

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের প্রধান কাজট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণসমর্থন উন্নত করা হয়তাপ প্রতিরোধের, পরিধান প্রতিরোধের এবং জারা প্রতিরোধেরট্যানটালাম কার্বাইড আবরণের একটি স্তর লেপ দিয়ে সাবস্ট্রেটের, যাতে প্রক্রিয়াটির নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করা যায় এবং উপাদানগুলির পরিষেবা জীবন বাড়ানো যায়। এটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের ক্ষেত্রে ব্যবহৃত একটি উচ্চ-কর্মক্ষমতা লেপ পণ্য।

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের ট্যানটালাম কার্বাইড লেপ সাপোর্টের মোহস কঠোরতা প্রায় 9~10, হীরার পরেই দ্বিতীয়। এটির অত্যন্ত শক্তিশালী পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে এবং প্রক্রিয়াকরণের সময় পৃষ্ঠের পরিধান এবং প্রভাবকে কার্যকরভাবে প্রতিরোধ করতে পারে, যার ফলে কার্যকরভাবে সরঞ্জামের উপাদানগুলির পরিষেবা জীবন প্রসারিত হয়। প্রায় 3880 ডিগ্রি সেলসিয়াসের উচ্চ গলনাঙ্কের সাথে মিলিত, এটি প্রায়শই অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির মূল উপাদানগুলির আবরণের জন্য ব্যবহৃত হয়, যেমন সমর্থন কাঠামোর পৃষ্ঠের আবরণ, তাপ চিকিত্সার সরঞ্জাম, অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে চেম্বার বা গ্যাসকেট এর পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং উচ্চ তাপমাত্রা উন্নত করতে। প্রতিরোধ

প্রায় 3880 ডিগ্রি সেলসিয়াসের ট্যানটালাম কার্বাইডের অত্যন্ত উচ্চ গলনাঙ্কের কারণে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়াগুলিতে যেমনরাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD)এবংশারীরিক বাষ্প জমা (PVD), শক্তিশালী উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের সঙ্গে TaC আবরণ কার্যকরভাবে সরঞ্জাম উপাদান রক্ষা করতে পারে এবং চরম পরিবেশে ক্ষয় বা স্তরের ক্ষতি প্রতিরোধ করতে পারে, ওয়েফার উত্পাদন উচ্চ তাপমাত্রা পরিবেশের জন্য কার্যকর সুরক্ষা প্রদান করে। এই বৈশিষ্ট্যটিও নির্ধারণ করে যে VeTek সেমিকন্ডাক্টরের ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ সমর্থন প্রায়শই এচিং এবং ক্ষয়কারী প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়।

ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ সমর্থন এছাড়াও কণা দূষণ হ্রাস ফাংশন আছে. ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের সময়, পৃষ্ঠের পরিধান সাধারণত কণা দূষণ তৈরি করে, যা ওয়েফারের পণ্যের গুণমানকে প্রভাবিত করে। TaC আবরণের 9-10 Mohs কঠোরতার চরম পণ্য বৈশিষ্ট্যগুলি কার্যকরভাবে এই পরিধানকে কমাতে পারে, যার ফলে কণা তৈরি হয়। TaC আবরণের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা (প্রায় 21 W/m·K) এর সাথে মিলিত, এটি উচ্চ তাপমাত্রার পরিস্থিতিতে ভাল তাপ পরিবাহিতা বজায় রাখতে পারে, যার ফলে ওয়েফার উত্পাদনের ফলন এবং সামঞ্জস্যতা ব্যাপকভাবে উন্নত হয়।

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের প্রধান TaC আবরণ পণ্য অন্তর্ভুক্তTaC আবরণ হিটার, CVD TaC আবরণ ক্রুসিবল, TaC আবরণ ঘূর্ণন সাসেপ্টরএবংTaC আবরণ খুচরা অংশইত্যাদি, এবং কাস্টমাইজড পণ্য পরিষেবা সমর্থন করে। VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য চমৎকার পণ্য এবং প্রযুক্তিগত সমাধান প্রদান করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ। আমরা আন্তরিকভাবে চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হতে আশা করি।

একটি মাইক্রোস্কোপিক ক্রস-সেকশনে ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ:

CVD TaC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য：