চীন সলিড সিলিকন কার্বাইড প্রস্তুতকারক, সরবরাহকারী, কারখানা

VeTek সেমিকন্ডাক্টর সলিড সিলিকন কার্বাইড হল প্লাজমা এচিং সরঞ্জামের একটি গুরুত্বপূর্ণ সিরামিক উপাদান, কঠিন সিলিকন কার্বাইড(সিভিডি সিলিকন কার্বাইড) নকশিকাঁথা যন্ত্রপাতি অংশ অন্তর্ভুক্তফোকাসিং রিং, গ্যাস শাওয়ারহেড, ট্রে, এজ রিং ইত্যাদি। ক্লোরিন-এবং ফ্লোরিন-যুক্ত এচিং গ্যাসের প্রতি কঠিন সিলিকন কার্বাইড (সিভিডি সিলিকন কার্বাইড) এর কম প্রতিক্রিয়াশীলতা এবং পরিবাহিতা হওয়ার কারণে, এটি প্লাজমা এচিং সরঞ্জাম ফোকাসিং রিং এবং অন্যান্যগুলির জন্য একটি আদর্শ উপাদান। উপাদান

উদাহরণস্বরূপ, ফোকাস রিং হল একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ যা ওয়েফারের বাইরে এবং ওয়েফারের সাথে সরাসরি সংস্পর্শে রাখা হয়, রিংয়ের মধ্য দিয়ে যাওয়া প্লাজমাকে ফোকাস করার জন্য রিংটিতে একটি ভোল্টেজ প্রয়োগ করে, যার ফলে ওয়েফারের উপর প্লাজমা ফোকাস করে এর অভিন্নতা উন্নত করা যায়। প্রক্রিয়াকরণ ঐতিহ্যগত ফোকাস রিং সিলিকন বা তৈরি করা হয়কোয়ার্টজ, একটি সাধারণ ফোকাস রিং উপাদান হিসাবে পরিবাহী সিলিকন, এটি প্রায় সিলিকন ওয়েফারের পরিবাহিতা কাছাকাছি, কিন্তু ঘাটতি হল দরিদ্র এচিং প্রতিরোধের ফ্লোরিন-ধারণকারী প্লাজমা, এচিং মেশিন যন্ত্রাংশ উপকরণ প্রায়ই একটি সময়ের জন্য ব্যবহৃত হয়, গুরুতর হবে জারা প্রপঞ্চ, গুরুতরভাবে তার উত্পাদন দক্ষতা হ্রাস.

Solid SiC ফোকাস রিংকাজের নীতি：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

এবং ভিত্তিক ফোকাসিং রিং এবং CVD SiC ফোকাসিং রিং-এর তুলনা:

এবং ভিত্তিক ফোকাসিং রিং এবং CVD SiC ফোকাসিং রিং এর তুলনা
আইটেম	এবং	CVD SiC
ঘনত্ব (g/cm³)	2.33	3.21
ব্যান্ড গ্যাপ (eV)	1.12	2.3
তাপ পরিবাহিতা (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
ইলাস্টিক মডুলাস (GPa)	150	440
কঠোরতা (GPa)	11.4	24.5
পরিধান এবং জারা প্রতিরোধের	দরিদ্র	চমৎকার

VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির জন্য SiC ফোকাসিং রিংয়ের মতো উন্নত সলিড সিলিকন কার্বাইড (CVD সিলিকন কার্বাইড) অংশ অফার করে। আমাদের কঠিন সিলিকন কার্বাইড ফোকাসিং রিংগুলি যান্ত্রিক শক্তি, রাসায়নিক প্রতিরোধ, তাপ পরিবাহিতা, উচ্চ-তাপমাত্রার স্থায়িত্ব এবং আয়ন এচিং প্রতিরোধের ক্ষেত্রে প্রথাগত সিলিকনকে ছাড়িয়ে যায়।

আমাদের SiC ফোকাসিং রিংগুলির মূল বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে রয়েছে:

কম এচিং হার জন্য উচ্চ ঘনত্ব.

একটি উচ্চ bandgap সঙ্গে চমৎকার নিরোধক.

উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ সম্প্রসারণের কম সহগ।

উচ্চতর যান্ত্রিক প্রভাব প্রতিরোধের এবং স্থিতিস্থাপকতা.

উচ্চ কঠোরতা, পরিধান প্রতিরোধের, এবং জারা প্রতিরোধের.

ব্যবহার করে তৈরিপ্লাজমা-বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমা (PECVD)কৌশল, আমাদের SiC ফোকাসিং রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে এচিং প্রক্রিয়াগুলির ক্রমবর্ধমান চাহিদা পূরণ করে। এগুলি বিশেষত উচ্চতর প্লাজমা শক্তি এবং শক্তি সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছেক্যাপাসিটিভলি কাপলড প্লাজমা (সিসিপি)সিস্টেম

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের SiC ফোকাসিং রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরিতে ব্যতিক্রমী কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রদান করে। উচ্চতর গুণমান এবং দক্ষতার জন্য আমাদের SiC উপাদানগুলি চয়ন করুন৷

View as

SiC ক্রিস্টাল গ্রোথ নতুন প্রযুক্তি

রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) দ্বারা গঠিত ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড (SiC) ভৌত বাষ্প পরিবহন (PVT) দ্বারা ক্রমবর্ধমান সিলিকন কার্বাইড স্ফটিকগুলির জন্য একটি উৎস উপাদান হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে। SiC ক্রিস্টাল গ্রোথ নিউ টেকনোলজিতে, উৎস উপাদান একটি ক্রুসিবলের মধ্যে লোড করা হয় এবং একটি বীজ স্ফটিকের উপর পরমানন্দ করা হয়। ক্রমবর্ধমান SiC স্ফটিক জন্য একটি উৎস হিসাবে উপাদান পুনর্ব্যবহার করতে বাতিল করা CVD-SiC ব্লক ব্যবহার করুন. আমাদের সাথে একটি অংশীদারিত্ব প্রতিষ্ঠা করতে স্বাগতম।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

CVD SiC শাওয়ার হেড

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের একটি নেতৃস্থানীয় CVD SiC শাওয়ার হেড প্রস্তুতকারক এবং উদ্ভাবক। আমরা বহু বছর ধরে SiC উপাদানে বিশেষায়িত হয়েছি। CVD SiC শাওয়ার হেডকে তার চমৎকার থার্মোকেমিক্যাল স্থায়িত্ব, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং প্রতিরোধের কারণে ফোকাসিং রিং উপাদান হিসেবে বেছে নেওয়া হয়েছে। প্লাজমা ক্ষয়। আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

SiC ঝরনা প্রধান

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের একটি নেতৃস্থানীয় SiC শাওয়ার হেড প্রস্তুতকারক এবং উদ্ভাবক। আমরা বহু বছর ধরে SiC উপাদানে বিশেষায়িত হয়েছি। চমৎকার থার্মোকেমিক্যাল স্থায়িত্ব, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের কারণে SiC শাওয়ার হেড একটি ফোকাসিং রিং উপাদান হিসেবে বেছে নেওয়া হয়েছে। .আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

সলিড SiC গ্যাস শাওয়ার হেড

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের একটি নেতৃস্থানীয় সলিড SiC গ্যাস শাওয়ার হেড প্রস্তুতকারক এবং উদ্ভাবক। আমরা বহু বছর ধরে সেমিকন্ডাক্টর উপাদানে বিশেষায়িত হয়েছি। ভিটেক সেমিকন্ডাক্টর সলিড SiC গ্যাস শাওয়ার হেডের মাল্টি-পোরোসিটি ডিজাইন নিশ্চিত করে যে CVD প্রক্রিয়ায় উৎপন্ন তাপ ছড়িয়ে দেওয়া যায়। , নিশ্চিত করে যে স্তরটি সমানভাবে উত্তপ্ত হয়। আমরা চীনে আপনার সাথে দীর্ঘমেয়াদী সেট আপ করার জন্য উন্মুখ।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

রাসায়নিক বাষ্প জমা প্রক্রিয়া কঠিন SiC প্রান্ত রিং

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের একটি নেতৃস্থানীয় রাসায়নিক বাষ্প জমা প্রক্রিয়া সলিড SiC এজ রিং প্রস্তুতকারক এবং উদ্ভাবক। আমরা বহু বছর ধরে সেমিকন্ডাক্টর উপাদানে বিশেষায়িত হয়েছি। VeTek সেমিকন্ডাক্টর সলিড SiC প্রান্ত রিং উন্নত এচিং অভিন্নতা এবং সুনির্দিষ্ট ওয়েফার পজিশনিং অফার করে যখন একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ব্যবহার করা হয়। , সুসংগত এবং নির্ভরযোগ্য এচিং ফলাফল নিশ্চিত করা। আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

সলিড SiC এচিং ফোকাসিং রিং

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল চীনের একটি নেতৃস্থানীয় সলিড SiC এচিং ফোকাসিং রিং প্রস্তুতকারক এবং উদ্ভাবক। আমরা বহু বছর ধরে SiC উপাদানে বিশেষায়িত হয়েছি। চমৎকার থার্মোকেমিক্যাল স্থিতিশীলতা, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং প্লাজমা প্রতিরোধের কারণে সলিড SiC একটি ফোকাসিং রিং উপাদান হিসেবে বেছে নেওয়া হয়েছে। erosion.আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

আরও পড়ুন অনুসন্ধান পাঠান

<1 2 >

চীনে একজন পেশাদার সলিড সিলিকন কার্বাইড প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে, আমাদের নিজস্ব কারখানা রয়েছে। আপনার অঞ্চলের নির্দিষ্ট চাহিদা মেটাতে আপনার কাস্টমাইজড পরিষেবার প্রয়োজন হোক বা চীনে তৈরি উন্নত এবং টেকসই সলিড সিলিকন কার্বাইড কিনতে চান, আপনি আমাদের একটি বার্তা দিতে পারেন।